蔡司SIGMA 500場發射掃描電鏡產品參數

　　蔡司熱場發射掃描電鏡SIGMA 500采用了GEMINI電子束無交叉光路設計，打破了傳統設計中電子束交叉三次發生能量擴散的局限性，束流大小適中，極大地降低色差對圖像質量的影響;鏡筒內置電子束加速器，無需切換減速模式就可實現高質量低電壓成像，低20V可成像，且對樣品類型無限制;鏡筒物鏡采用靜電透鏡加電磁透鏡組合，工作距離范圍內沒有磁場，能在高倍率下觀察磁性材料;鏡筒內正光路安裝的環形二次電子探測器In-Lens;圓柱形一體化超大樣品室，配有5軸全自動優中心樣品臺，能裝直徑250mm的超大樣品;可將同一品牌的電鏡與光鏡聯合觀察(選配)，只需一個通用樣品夾和關聯軟件為Shuttle & Find,可以充分發揮光鏡及電鏡的各自優勢。

　　產品參數

　　(1)電子源：GEMINI鏡筒，高穩定性Schottky熱場發射電子槍。

　　(2)物鏡系統：電磁/靜電式物鏡系統，電子束無交叉光路設計。

　　(3)高真空SE分辨率：0.8nm@15kv, 1.4nm@1kv

　　(4)加速電壓：20V～30 kV，以10 V步進連續可調，無需切換減速模式。

　　(5)探針電流：4pA-20 nA，束流穩定性優于 0.2 %/h。

　　(6)放大倍率范圍：10×～1,000,000×(照片放大倍率)。高倍率與低倍率連續可調，無需任何模式轉換。

　　(7)探測器系統：樣品室內二次電子探測器1個;鏡筒內正光軸環形高效二次電子In-lens探測器1個;

　　樣品室內HDBSD高分辨背散射電子探測器1個;紅外CCD樣品室觀察系統1個。

　　(8)樣品室形狀及尺寸：樣品室是由整塊鋼件掏空制成的為圓柱形、厚壁、整體結構樣品室,抗磁，防震，抗噪聲效果好。

　　樣品室直徑或寬度要求不小于350mm，高度或深度不低于250mm;

　　(9)樣品臺類型：5軸馬達樣品臺，抽屜式安裝，采用雙操縱桿控制盒控制。移動范圍：X>125mm;Y >125mm;Z >40 mm;T≥-4o~+70o;R=360o。

　　(10)能譜儀工作條件：工作距離8.5 mm，X射線出射角35°。

　　(11)物鏡光闌：7孔光闌，*的電磁式自動選擇與電子束對中。

　　(12)X射線能譜儀(牛津)

　　探測器：分析型SDD硅漂移電制冷探測器，晶體面積30mm2。超薄窗設計, 無需液氮冷卻，僅消耗電能。

　　能量分辨率：MnKa保證優于127eV, 元素分析范圍: Be4～Cf98。

　　圓形對稱芯片，獨立封裝FET場效應管，避免X射線轟擊。

　　譜峰穩定性：1,000cps到100,000cps，MnKa峰譜峰漂移小于1eV，分辨率變化小于1eV, 48小時內峰位漂移小于1.5eV。