TURBOVAC MAG W 830/1300 C W 1500 CT
W 2000 C/CT W 2200 C W 2800/3200 (C/CT)
典型應(yīng)用
- 半導(dǎo)體工業(yè)，諸如蝕刻、CVD、PVD和離子注入之類的所有主要半導(dǎo)體工藝
- 進(jìn)樣室，轉(zhuǎn)移室
- 粒子加速器
- 科研
- 鍍膜系統(tǒng)
技術(shù)特點(diǎn)
- 主動(dòng)定位五軸磁懸浮軸承系統(tǒng)
- 軸承系統(tǒng)的數(shù)字監(jiān)控
- 噪聲和振動(dòng)低
- 任意方向安裝
- *的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)高抽速和高前級(jí)耐壓
- 智能電源控制系統(tǒng)
- CT版集成溫度管理系統(tǒng)（TMS）
- C版耐腐蝕
客戶得益
- 免維護(hù)
- 所有工藝氣體都有高氣載量
- 極限低，抽速高
- 前級(jí)耐壓高
- 同類中重量較輕，尺寸較小
- 耐粉塵
- 溫控達(dá) 90 °C (194 °F)，避免沉積物
（CT版）
- 高耐腐蝕性-CT版
- 氣體吹掃系統(tǒng)
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技術(shù)特點(diǎn)
- 主動(dòng)定位五軸磁懸浮軸承系統(tǒng)
- 軸承系統(tǒng)的數(shù)字監(jiān)控
- 噪聲和振動(dòng)低
- 任意方向安裝
- *的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)高抽速和高前級(jí)耐壓
- 智能電源控制系統(tǒng)
- CT版集成溫度管理系統(tǒng)（TMS）
- C版耐腐蝕
客戶得益
- 免維護(hù)
- 所有工藝氣體都有高氣載量
- 極限低，抽速高
- 前級(jí)耐壓高
- 同類中重量輕，尺寸小
- 耐粉塵
- 溫控達(dá) 90 °C (194 °F)，避免沉積物
（CT版）
- 高耐腐蝕性-CT版
- 氣體吹掃系統(tǒng)
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典型應(yīng)用
- 半導(dǎo)體工業(yè)，諸如蝕刻、CVD、PVD和離子注入之類的所有主要半導(dǎo)體工藝
- 進(jìn)樣室，轉(zhuǎn)移室
- 粒子加速器
- 科研
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技術(shù)參數(shù) | TURBOVAC MAG | ||||||
W 2200 C/CT | W 2200 | ||||||
進(jìn)氣口 | DN | 200 ISO-F | 250 ISO-F | 250 CF | |||
PNEUROP的抽速氮?dú)?氬氣 氦氣 氫氣 | I x s-1I x s-1I x s-1I x s-1 | ||||||
額定轉(zhuǎn)速 | min-1 | 29 400 | 29 400 | 29 400 | |||
壓縮比氮?dú)?/span> | > 1 x 108 | > 1 x 108 | 1 x 108 | ||||
極限壓強(qiáng)，根據(jù) DIN 28 400 | mbar (Torr) | < 10-8 (< 0 75 x 10-8) | < 10-8 (< 0 75 x 10-8) | < 1 x 10-10 (< 0 75 x 10-10) | |||
前級(jí)耐壓（對(duì)氮?dú)猓?duì)流冷卻時(shí) 水冷卻時(shí) | mbar (Torr)mbar (Torr) | – 2 (1 5) | – 2 (1 5) | 0 1 (0 075) 1 (0 75) | |||
推薦的前級(jí)泵抽速達(dá)100m3/h的旋片泵或干泵 | TRIVAC D 65 BCS | TRIVAC D 65 BCS | TRIVAC D 65 BCS | ||||
啟動(dòng)時(shí)間達(dá)95%名義轉(zhuǎn)度時(shí) | min | < 8 | < 8 | < 8 | |||
出氣口外形尺寸 | DN | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF | |||
吹掃和破空口 | 1/4" VCR | 1/4" VCR | DN 10/16 | ||||
冷卻水接口（管道外徑） | 1/2" | 1/2" | Swagelok管1/4" | ||||
重量（近似） | kg (lbs) | 48 (106) | 48 (106) | 60 (132) | |||
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