典型應(yīng)用
- PVD鍍膜系統(tǒng)
- 建筑玻璃鍍膜
- 光學(xué)鍍膜
- 液晶顯示器
- 平板顯示
- 科研
- 分析領(lǐng)域
技術(shù)特點
- 任意方向安裝
- DN 200和/或250 ，在ISO-F和/或CF
高真空接口
- DN 40 KF前級真空接口
- 保護氣/破空接口DN 16 KF（卡簧
式）
MAG INTEGRA 系列產(chǎn)品
MAG INTEGRA – 集成磁懸浮復(fù)合分子泵
- 水冷
- CE和RoHS認證：滿足UL要求
- 防護等級IP 54
- 兩個工業(yè)通信模塊卡接口
- RS 232，維護接口
- 可以安裝其它接口：Profibus、RS
485 C，9針24 V SPS
客戶得益
- 抽速和氣載量較高
- 可靠、耐用
- 免維護
- 適合用于分析、薄膜技術(shù)、電子顯
微鏡、科研領(lǐng)域等對振動敏感的應(yīng)
用場合
- 由于采用模塊化設(shè)計具有靈活性，
變頻器可以安裝在一側(cè)或下面
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技術(shù)特點
- 任意方向安裝
- DN 200和/或250 ，在ISO-F和/或CF
高真空接口
- DN 40 KF前級真空接口
- 保護氣/破空接口DN 16 KF（卡簧
式）
MAG INTEGRA 系列產(chǎn)品
MAG INTEGRA – 集成磁懸浮復(fù)合分子泵
- 水冷
- CE和RoHS認證：滿足UL要求
- 防護等級IP 54
- 兩個工業(yè)通信模塊卡接口
- RS 232，維護接口
- 可以安裝其它接口：Profibus、RS
485 C，9針24 V SPS
客戶得益
- 抽速和氣載量高
- 可靠、耐用
- 免維護
- 適合用于分析、薄膜技術(shù)、電子顯
微鏡、科研領(lǐng)域等對振動敏感的應(yīng)
用場合
- 由于采用模塊化設(shè)計具有靈活性，
變頻器可以安裝在一側(cè)或下面
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典型應(yīng)用
- PVD鍍膜系統(tǒng)
- 建筑玻璃鍍膜
- 光學(xué)鍍膜
- 液晶顯示器
- 平板顯示
- 科研
- 分析領(lǐng)域
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技術(shù)參數(shù) TURBOVAC MAG INTEGRA W
1700 iP(L) 2200/2201 iP(L)
進氣口法蘭 | DN | 250 ISO-F | 250 ISO-F | |
250 CF | 250 CF | |||
抽速 | ||||
氮氣 | I x s-1 | 1610 | 2100 | |
氬氣 | I x s-1 | 1480 | 1900 | |
氦氣 | I x s-1 | 1710 | 2050 | |
氫氣 | I x s-1 | 1660 | 1750 | |
轉(zhuǎn)速 | min-1 | 33 000 | 30 600/30000 | |
可調(diào)待機轉(zhuǎn)速 | min-1 | 13 800 (230 Hz) | 13 800 (230 Hz) | |
壓縮比 | ||||
氮氣 | > 108 | > 108 | ||
氬氣 | > 108 | > 108 | ||
氫氣，1 sccm時 | 2 0 x 105 | 5 x 104/5 x 103 | ||
氦氣，1 sccm時 | 4 0 x 103 | 5 x 103/5 x 102 | ||
氣載量 | ||||
氮氣，短暫，例如抽出中 | ||||
mbar x I x s-1 | 30 | 30/50 | ||
氮氣，連續(xù)使用 | ||||
mbar x I x s-1 | 20 | 17/36 | ||
氬氣，短暫，例如抽出中 | ||||
mbar x I x s-1 | 20 | 20/30 | ||
氬氣，連續(xù)使用 | ||||
mbar x I x s-1 | 15 | 12/24 | ||
極限壓強 | ||||
ISO-F法蘭 | mbar | < 10-8 | < 10-8 | |
CF法蘭 | mbar | < 10-10 | < 10-10 | |
高除氣溫度 | °C | 80 | 80 | |
前級耐壓 | ||||
氮氣 | mbar | 4 | 2 5/1 2 | |
氬氣 | mbar | 0 6 | 2 5/1 2 | |
推薦的前級泵 | TRIVAC B或干泵 | |||
加速時間 | min | < 7 | <10 | |
前級管道法蘭 | DN | 40 KF | 40 KF | |
吹掃/破空端口(夾鏈式) | DN | 16 KF | 16 KF | |
水冷接口尺寸 | G | 1/8" | 1/8" | |
重量 | kg | 45 | 50 | |
執(zhí)行ISO 3744標準的噪聲級 | dB(A) | < 41 | < 41 | |
速度時高真空法蘭處的振動值 | μm | 0 01 | 0 01 | |
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