產品簡介
FRT MicroProf 300是高性能和多功能MicroProf一代的一部分,采用多傳感器技術。該系統可用于質量保證、開發和生產等方面,在不破壞樣品的情況下,可確定與理想表面形狀的最小偏差,表面測量精度可低至亞微米范圍。除表面粗糙度外,形狀也是最重要的測量參數之一。FRT MicroProf 300非常適合這些需求,也可以集成到自動化的晶圓產線中。豐富的傳感器類型和晶圓雙面測量選項(TTV),使MicroProf 300可以完成各種測量任務。此外,測量的簡單自動化提高了生產效率和工藝可靠性。
產品特性
全范圍的多傳感器設置可用
集成CCD相機,附加照明
高精度電機傳感器
垂直拼接功能,擴大高度測量范圍
快速xy精密工作臺,運動定位精度高
穩定的花崗巖結構,具有優良的阻尼性能
簡單有效的控制與FRT Acquire軟件
通過FRTs Acquire Automation XT計量軟件實現全自動化2D和3D測量
用戶友好的FRT Mark III評估軟件與豐富的評估和顯示選項
符合DIN-ISO和SEMI標準
產品應用
晶圓形貌測量:
晶圓厚度、TTV、彎曲、粗糙度、應力平整度
凸起、通道、溝槽、幾何形狀、滾落量
薄膜厚度
規格參數
XY軸掃描行程 | 415 mm x 305 mm |
XY軸編碼器分辨率 | 50 nm |
XY軸掃描速度 | 300 mm/s |
Z軸行程 | 50 mm (100 mm 可選) |
載重能力 | 5kg |