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    • FRT MicroProf 300晶圓量測系統

    FRT MicroProf 300晶圓量測系統

    參考價
    面議
    具體成交價以合同協議為準
    • 型號
    • 品牌
    • 所在地成都市
    • 更新時間2023-07-17
    • 廠商性質其他
    • 所在地區成都市
    • 實名認證已認證
    • 產品數量148
    • 人氣值735
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    產品簡介FRTMicroProf300是高性能和多功能MicroProf一代的一部分,采用多傳感器技術
    FRT MicroProf 300晶圓量測系統 產品詳情


    產品簡介

    FRT MicroProf 300是高性能和多功能MicroProf一代的一部分,采用多傳感器技術。該系統可用于質量保證、開發和生產方面,在不破壞樣品的情況下,可確定與理想表面形狀的最小偏差,表面測量精度可低至亞微米范圍。除表面粗糙度外,形狀也是最重要的測量參數之一。FRT MicroProf 300非常適合這些需求,也可以集成到自動化的晶圓產線中。豐富的傳感器類型和晶圓雙面測量選項(TTV),使MicroProf 300可以完成各種測量任務。此外,測量的簡單自動化提高了生產效率和工藝可靠性。


    產品特性

    全范圍的多傳感器設置可用

    集成CCD相機,附加照明

    高精度電機傳感器

    垂直拼接功能,擴大高度測量范圍

    快速xy精密工作臺,運動定位精度高

    穩定的花崗巖結構,具有優良的阻尼性能

    簡單有效的控制與FRT Acquire軟件

    通過FRTs Acquire Automation XT計量軟件實現全自動化2D和3D測量

    用戶友好的FRT Mark III評估軟件與豐富的評估和顯示選項

    符合DIN-ISO和SEMI標準


    產品應用

    晶圓形貌測量:

    晶圓厚度、TTV、彎曲、粗糙度、應力平整度

    凸起、通道、溝槽、幾何形狀、滾落量

    薄膜厚度


    規格參數

    XY軸掃描行程

    415 mm x 305 mm

    XY軸編碼器分辨率

    50 nm

    XY軸掃描速度

    300 mm/s

    Z軸行程

    50 mm (100 mm 可選)

    載重能力

    5kg



    關鍵詞:傳感器 標準
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