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    • FRT MicroProf FS晶圓3D表面量測系統

    FRT MicroProf FS晶圓3D表面量測系統

    參考價
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    具體成交價以合同協議為準
    • 型號
    • 品牌
    • 所在地成都市
    • 更新時間2023-07-17
    • 廠商性質其他
    • 所在地區成都市
    • 實名認證已認證
    • 產品數量148
    • 人氣值735
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    產品簡介FRTMicroProfFS是一款全自動晶圓計量系統,可廣泛用于晶圓代工生產產線,可選用標準或定制的解決方案
    FRT MicroProf FS晶圓3D表面量測系統 產品詳情


    產品簡介

    FRT MicroProf FS是一款全自動晶圓計量系統,可廣泛用于晶圓代工生產產線可選用標準定制的解決方案。

    半導體制造工藝中,靈活性和多功能性是計量解決方案的關鍵。MicroProf FS提供了一個模塊化的方法來集成一個自動化的多傳感器系統,可以解決所有目標測量任務。

    對于其核心計量組件,經過驗證的FRT MicroProf 300多傳感器計量工具可用于測量不同的產品,并通過混合計量理念的應用,提高了單傳感器或測量原理無法達到的樣品測量精度。MicroProf FS的測量系統配備了一個花崗巖底座,與一個三點支撐樣品夾具或真空chuck


    產品特性

    全自動多傳感器技術

    適用于MEMS和晶圓

    可定制的豐富應用

    標準化的硬件集成與定制化的計量解決方案

    可處理各種基底類型

    強大的測試軟件,自動化2D和3D表面計量


    產品應用

    涂覆晶

    晶圓光刻工藝

    MEMS晶圓,加速度傳感器、壓力傳感器、微光學芯片

    晶圓3D封裝工藝

    薄膜層堆疊


    規格參數

    XY軸掃描行程

    440 mm x 305 mm

    XY軸編碼器分辨率

    50 nm

    XY軸掃描速度

    300 mm/s

    Z軸行程

    50 mm (100 mm 可選)

    載重能力

    5kg


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