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    • FRT MicroProf MHU晶圓量測系統(tǒng)

    FRT MicroProf MHU晶圓量測系統(tǒng)

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    • 型號
    • 品牌
    • 所在地成都市
    • 更新時間2023-07-17
    • 廠商性質(zhì)其他
    • 所在地區(qū)成都市
    • 實名認(rèn)證已認(rèn)證
    • 產(chǎn)品數(shù)量148
    • 人氣值735
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    成都信賽賽思科技有限公司(以下簡稱“成都信賽”),總部位于美麗的天府之國成都,在西安、北京、南京、深圳均設(shè)有服務(wù)機構(gòu),為客戶提供測試產(chǎn)品的銷售,綜合測試系統(tǒng)的開發(fā)及集成,自動化測試軟件等產(chǎn)品,致力成為綜合服務(wù)提供商,為客戶提供一站式服務(wù)。 公司在中國半導(dǎo)體測試和微波領(lǐng)域有突出表現(xiàn),已經(jīng)與多家世界的半導(dǎo)體器件和精密測試領(lǐng)域的品牌廠商確定了合作關(guān)系。這些包括:探針臺系統(tǒng)制造商FORMFACTOR;微波組件和測試系統(tǒng)制造商MAURY;系統(tǒng)方案合作商keysight,為客戶提供專業(yè)、全面的測試設(shè)備和解決方案;微組裝領(lǐng)域擁有一批在電子裝配、電子封裝及半導(dǎo)體行業(yè)有豐富工作經(jīng)驗的專業(yè)技術(shù)工程師團隊,并同世界的設(shè)備儀器供應(yīng)商合作,如ACCRETECH,Centrotherm, Ficontec, Tresky, Dage, March, TPT, Veeco, MIYACHI 等,不斷提升系統(tǒng)整合能力,為客戶提供高質(zhì)量、的服務(wù)。不僅能為客戶提供性能可靠的設(shè)備,還能根據(jù)客戶的實際生產(chǎn)情況制訂切實可行的工藝技術(shù)方案。 目前公司用戶遍及國內(nèi)集團與科研院所,在業(yè)內(nèi)有著良好的口碑。已成功地為、中國航天、中國航空、中國船舶、中國兵器集團等所屬的眾多科研院所、全國高校以及工廠提供了優(yōu)質(zhì)的設(shè)備和服務(wù)。 在電磁兼容測試領(lǐng)域,通過多年的發(fā)展,與國內(nèi)外優(yōu)秀的公司合作(美國ETS和四威功率電子),我司可以滿足GJB151A/GJB151B、GJB1389以及DO-160等各種測試需求的產(chǎn)品和測試系統(tǒng)。在國內(nèi)高場強測試領(lǐng)域有的技術(shù)優(yōu)勢。 光通訊測試領(lǐng)域:我司提供一體化解決方案,可以滿足從芯片到模塊到整機的完整測試解決方案。 成都信賽成立之初確立了以服務(wù)用戶,一為根本,以精益求精為宗旨,推動中國射頻微波測試產(chǎn)品,助力半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展為目標(biāo)的長遠(yuǎn)發(fā)展戰(zhàn)略。發(fā)展和維護與客戶的密切聯(lián)系和長期戰(zhàn)略合作,為客戶提供快捷有效和高技術(shù)附加值的服務(wù),不斷完善產(chǎn)品線,共同促進中國電子事業(yè)的發(fā)展。 我們期待與各界朋友合作!
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    產(chǎn)品簡介MicroProfMHU系列是帶有材料處理單元的晶圓量測系統(tǒng),是專門為半導(dǎo)體、MEMS、藍寶石和LED行業(yè)設(shè)計的
    FRT MicroProf MHU晶圓量測系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情


    產(chǎn)品簡介

    MicroProf MHU系列是帶有材料處理單元的晶圓量測系統(tǒng),是專門為半導(dǎo)體、MEMS、藍寶石和LED行業(yè)設(shè)計的。典型的應(yīng)用是測量裸晶圓和涂覆晶圓,或處于不同光刻工藝步驟的結(jié)構(gòu)晶圓。由于具備了帶有兩個真空吸附前端的的機械臂該工具的吞吐量非常高,可達220片/小時。MicroProf MHU系列能夠處理2到12英寸的晶圓。雙側(cè)樣品測量選件允許同時測量晶圓頂部和底部表面,測定樣品厚度,總厚度變化(TTV)和各種表面參數(shù),如粗糙度,波浪度和兩側(cè)的平面度。通過對全局和局部晶圓參數(shù)的分析,可以實現(xiàn)完整的晶圓形貌測量。提供晶圓分選功能,可根據(jù)客戶要求進行調(diào)整。MicroProf MHU的另一個測量領(lǐng)域是薄膜層厚layer堆疊,臺階高度,凸起,通道(tsv),溝槽等測量。兼容的設(shè)計幾乎無需維護的硬件組件、高吞吐量,使MicroProf MHU成為生產(chǎn)中的解決方案。


    產(chǎn)品特性

    高吞吐量,可達220/小時

    準(zhǔn)確度和重現(xiàn)性

    快速點測量、剖面測量、三維測量

    精確到(亞)納米分辨率

    契合生產(chǎn)流程的系統(tǒng)集成

    可以根據(jù)需求輕松自定義創(chuàng)建測試流程

    符合DIN/ISO和SEMI標(biāo)準(zhǔn)

    光學(xué)、非接觸、非破壞性

    耐用,維修少,維護少


    產(chǎn)品應(yīng)用

    晶圓形貌測量:

    晶圓厚度、TTV、彎曲、粗糙度、應(yīng)力平整度

    凸起、通道、溝槽、幾何形狀、滾落量

    薄膜厚度


    規(guī)格參數(shù)

    XY軸掃描行程

    440 mm x 305 mm

    XY軸編碼器分辨率

    50 nm

    XY軸掃描速度

    300 mm/s

    Z軸行程

    50 mm (100 mm 可選)

    載重能力

    5kg



    關(guān)鍵詞:標(biāo)準(zhǔn)
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