美國ZYGO 3D外表輪廓儀NewView 7300
NewView 7300外表輪廓儀以其的精細度和準確度定性和定量地反映出樣品的外表粗糙度、臺階高度、關(guān)鍵部位的尺寸以及樣品的描摹。丈量進程精細，高速，非接觸，且樣品無需特殊處理。在高速掃描狀態(tài)下縱向丈量規(guī)模可以從小于1nm至20000μm，基于ZYGO 的掃描技術(shù)，無論怎樣的外表描摹，放大倍數(shù)以及臺階特性，NewView 7300只需一次掃描即可到達0.1nm的縱向分辨率，并取得所有的被測參數(shù)，我們還有三坐標檢測儀等儀器，請繼續(xù)關(guān)注。
體系參數(shù):
◆原理: 非接觸、三維白光掃描干涉儀
◆掃描裝置: 閉環(huán)反饋壓電陶瓷，高線性電容傳感器,
◆視場擴大倍率：高質(zhì)量分立擴大倍率鏡頭：0.5×,0.75倍率: ×,1.0×,1.5×,2.0×
◆成像擴大: 電動3 位體系成像擴大
◆視場:0.03-14mm，跟物鏡和擴大倍率有關(guān),運用圖像拼接技能可以得到更大規(guī)模
◆光源: 均勻成像，高效率，特別設(shè)計長壽命白光LED物鏡座標配:可快速裝卸單物鏡夾具
◆控制 :濾光板托架，視場光闌（輔助聚集）
◆丈量陣列:標配640×480 像素；640×480，320×240，160×120 像素,可選更高分辨率992×999
◆樣件調(diào)查: 專用液晶顯示屏實時調(diào)查
◆精細聚集 :電控手動和主動聚集
◆Z 軸驅(qū)動:直流無刷微步進電機驅(qū)動，200mm 行程,0.1μm 精度
◆尺寸:157×132×89cm ，NewView：81×58×41cm ，防振臺：76X61X61,工作臺：85X132X89cm
◆重量 :體系重量：約430Kg
◆輸入電壓: 100-240VAC,50/60 Hz
◆計算機: 帶液晶顯示器的高性能DELL 計算機
◆軟件:ZYGO MetroPro 軟件
◆物鏡座: 可快速裝卸單物鏡夾具 ,選件:手動6 位塔臺；電控 6 位塔臺；
◆樣品臺:手動,俯仰(±6°)和XY 平移(±50mm),電動,俯仰(±4°)和XY 平移(±76mm)電動, 俯仰( ± 4 ° )X-Theta (orY-Theta）和XY 平移(±76mm) 三種可選
◆縱向掃描:150μm，拓展掃描形式可到20mm,
◆縱向分辨率 ＜0.1nm,橫向分辨率 0.36～9.5μm，與所選物鏡有關(guān),
◆掃描速度 ≤135μm/sec,與所選的CCD 和掃描形式有關(guān)
◆zui大數(shù)據(jù)點: 規(guī)范307200；可選984064；
◆RMS 重復(fù)性 ＜0.01 nm， RMSσ
◆臺階丈量 :準確度 ≤ 0.75% ;重復(fù)性≤ 0.1% @ 1σ
◆測樣品特性:各種資料的表面：透明，不透明，鍍膜,非鍍膜，反射，弱反射
◆zui大尺寸: 89×203×203mm(高×寬×長);反射率: 1-
