1、可滿足多晶硅、氮化硅、擴散、氧化、退火等工藝
2、采用高可靠性工控機+PLC模式，對爐溫、進退舟、氣體流量、閥門進行全自動控制,實現全部工藝過程自動化；
3、具有友好的人機界面，用戶可以方便地修改工藝控制參數，并可隨時顯示各種工藝狀態；
4、具有多種工藝管路，可供用戶方便選擇；
5、具有強大的軟件功能，配有故障自診斷軟件，可大大節省維修時間；
6、恒溫區自動調整，串級控制，可準確控制反應管的實際工藝溫度；
7、具有超溫、斷偶、熱偶短路、工藝氣體流量偏差報警和保護功能；
8、可根據用戶要求定制產品。
應用范圍：
本設備為科研型擴散氧化爐，適用于企業研發、大學及科研院所的科研與教學。可滿足多晶硅、氮化硅、擴散、氧化、退火等工藝。
產品參數：
| 產品名稱 | 科研型擴散氧化爐 |
| 產品型號 | KJ-T1300-LZ-10KS |
| 工作溫度 | 1300℃ |
| 應用晶片尺寸 | 2~8英寸圓片 |
| 可配工藝管數量 | 1~2管/臺 |
| 恒溫區長度 | 300~600mm |
| 恒溫區精度 | ≤±0.5℃ |
| 溫度穩定性 | ≤±0.5℃/24h |
| 溫度斜變能力 | 升溫速率10℃/min，降溫速率5℃/min |
| 預警 | 具有超溫、斷偶、熱偶短路、工藝氣體流量偏差報警和保護功能 |
| 更多規格可根據要求來定制 | |
1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務（易損件除外），在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障，均予以免費維修。保修期滿后，仍提供終身的、優質的維修服務。
2、在設備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設備正常運行。
3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、我公司技術人員可提供(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
5、本公司可提供運輸服務，包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等）。
6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。
