X 射線光電子能譜儀是一款ESCALAB 系列產(chǎn)品。ESCALAB Xi + 基于可擴展功能、系統(tǒng)優(yōu)化以及多分析技術(shù)的集成化平臺，實現(xiàn)了高靈活性和完備的配置選項。前沿技術(shù)、直觀的軟件操作以及硬件配置，帶給用戶優(yōu)異的實驗結(jié)果和生產(chǎn)力。數(shù)據(jù)系統(tǒng)提供系統(tǒng)控制、數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)處理與系統(tǒng)運行報告等一站式服務(wù)。
分析性能
• 定量能譜成像
• 快速平行成像，分辨率優(yōu)于1µm
• 無需背底修正探測器
• 高靈敏度和能量分辨率
• 微聚焦單色源
• 元素化學成像分析
• 自動化高效離子剖析源
• 一鍵式電荷補償
現(xiàn)代化操作
• 高度自動化
– 分析區(qū)域和角度分辨可選
– 自動化氣體調(diào)節(jié)和真空控制
• 隨時校準
– 能量的刻度和傳輸函數(shù)的校準
– 離子槍定位和離子束聚焦
• 鼠標點擊樣品導航和分析設(shè)置
– 實時顯示分析位置
– 高強度照明
靈活的設(shè)計
• 標配ISS和REELS功能
• 標配多功能進樣室
•UPS和AES/SEM/SAM/EDS功能可選
• 可選的樣品預處理附件，包括：
– 樣品斷裂臺、單晶解理、樣品刮片
– 樣品加熱/冷卻裝置
– 大面積清潔離子槍
– 高壓反應(yīng)室
