該系統結合了UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描平臺，因而具備出色的測量穩定性。 通過點擊式平臺控制、頂視和側視光學系統以及帶光學變焦的高分辨率相機等功能，程序設置簡便快速。 P-17具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調平和分析算法，可以支持2D或3D測量。 并通過圖案識別、排序和特征檢測實現全自動測量。
P-17設備是正真可以實現自動化多點測量的設備，是工藝提升的必要工具！
主要技術參數
- 1.重復性：≤4A （0.01%）
- 2.垂直分辨率：0.01A
- 3.水平分辨率（X): 0.025um
- 4.水平分辨率（Y):0.5um
- 5.采樣率(點)：4,000,000
- 6.垂直線性度： ±0.5%＞2000A
- 7.針壓范圍：0.03~50mg
- 8.量測長度：200mm（無需拼接）
- 9.掃描速度：2um/s-25mm/s
主要功能
- 1.臺階高度：幾納米至1000μm
- 2.微力恒力控制：0.03至50mg
- 3.樣品全直徑掃描，無需圖像拼接
- 4.視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像機
- 5.圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差
- 6.軟件：簡單易用的軟件界面
- 7.生產能力：通過測序、圖案識別和SECS/GEM實現全自動化
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主要應用
臺階高度：2D和3D臺階高度
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紋理：2D和3D粗糙度和波紋度
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形狀：2D和3D翹曲和形狀
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應力：2D和3D薄膜應力
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缺陷復檢：2D和3D缺陷表面形貌
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工業應用
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1.大學、研究實驗室和研究所
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2.半導體和化合物半導體
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3.LED：發光二極管
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4.太陽能
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5.MEMS：微機電系統
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6.數據存儲
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7.汽車
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8.醫療設備
