Aerotech納米級直線定位平臺
ANT95-L系列納米平移臺
1.大行程實(shí)現(xiàn)納米定位
2.高分辨率（1納米），重復(fù)定位精度（50納米），定位精度（250納米）
3.納米的位置穩(wěn)定性
4.抗爬行十字交叉滾珠軸承
5.高動態(tài)特性
ANT95-XY系列雙軸納米平移臺
1.結(jié)構(gòu)緊湊25mm*25mm或50mm*50mm行程
2.大行程實(shí)現(xiàn)納米定位
3.高分辨率（1納米），重復(fù)定位精度（50納米），定位精度（250納米）
4.3納米的位置穩(wěn)定性
5.抗爬行十字交叉滾珠軸承
6.高動態(tài)特性
ANT95-L-Z系列納米垂直平移臺
1.大行程實(shí)現(xiàn)納米定位
2.高分辨率（2納米），重復(fù)定位精度（75納米），定位精度（300納米）
3.5納米的位置穩(wěn)定性
4.抗爬行十字交叉滾珠軸承
5.高動態(tài)特性
ANT95-R系列直驅(qū)旋轉(zhuǎn)臺
1.高分辨率（0.01角秒）
2.性能高
3.*的跳動指標(biāo)
4.*的定位性能
5.高動態(tài)特性
6.多軸結(jié)構(gòu)
ANT130-L系列納米平移臺
1.大行程實(shí)現(xiàn)納米定位
2.高分辨率（1納米），重復(fù)定位精度（50納米），定位精度（250納米）
3.3納米的位置穩(wěn)定性
4.抗爬行十字交叉滾珠軸承
5.高動態(tài)特性
6.8種行程和精度范圍可選
ANT130-XY系列雙軸納米平移臺
1.結(jié)構(gòu)緊湊的納米平移臺
2.大行程實(shí)現(xiàn)納米定位
3.高分辨率（1納米），重復(fù)定位精度（50納米），定位精度（250納米）
4.3納米的位置穩(wěn)定性
5.抗爬行十字交叉滾珠軸承
6.高動態(tài)特性
ANT130-L-Z系列納米垂直平移臺
1.大行程實(shí)現(xiàn)納米定位
2.高分辨率（2納米），重復(fù)定位精度（75納米），定位精度（300納米）
3.5納米的位置穩(wěn)定性
4.抗爬行十字交叉滾珠軸承
5.高動態(tài)特性
ANT130-R系列直驅(qū)旋轉(zhuǎn)臺
1.高分辨率（0.01角秒）
2.性能高
3.*的跳動指標(biāo)
4.*的定位性能
5.高動態(tài)特性
6.多軸結(jié)構(gòu)
ANT180-L系列納米平移臺
1．非接觸，無齒槽，無摩擦，直接驅(qū)動
2．零背隙，無磁滯現(xiàn)象
3．抗爬行十字交叉滾珠軸承
4．高達(dá)360毫米行程
5．高分辨率（1納米），重復(fù)定位精度（100納米），定位精度（150納米）
6．完整的多軸電纜管理系統(tǒng)
