Aerotech納米級直線定位平臺

Aerotech納米級直線定位平臺

ANT95-L系列納米平移臺

1.大行程實現納米定位

2.高分辨率（1納米），重復定位精度（50納米），定位精度（250納米）

3.3納米的位置穩定性

4.抗爬行十字交叉滾珠軸承

5.高動態特性

ANT95-XY系列雙軸納米平移臺

1.結構緊湊25mm*25mm或50mm*50mm行程

2.大行程實現納米定位

3.高分辨率（1納米），重復定位精度（50納米），定位精度（250納米）

4.3納米的位置穩定性

5.抗爬行十字交叉滾珠軸承

6.高動態特性

ANT95-L-Z系列納米垂直平移臺

1.大行程實現納米定位

2.高分辨率（2納米），重復定位精度（75納米），定位精度（300納米）

3.5納米的位置穩定性

4.抗爬行十字交叉滾珠軸承

5.高動態特性

ANT95-R系列直驅旋轉臺

1.高分辨率（0.01角秒）

2.性能高

3.*的跳動指標

4.*的定位性能

5.高動態特性

6.多軸結構

ANT130-L系列納米平移臺

1.大行程實現納米定位

2.高分辨率（1納米），重復定位精度（50納米），定位精度（250納米）

3.3納米的位置穩定性

4.抗爬行十字交叉滾珠軸承

5.高動態特性

6.8種行程和精度范圍可選

ANT130-XY系列雙軸納米平移臺

1.結構緊湊的納米平移臺

2.大行程實現納米定位

3.高分辨率（1納米），重復定位精度（50納米），定位精度（250納米）

4.3納米的位置穩定性

5.抗爬行十字交叉滾珠軸承

6.高動態特性

ANT130-L-Z系列納米垂直平移臺

1.大行程實現納米定位

2.高分辨率（2納米），重復定位精度（75納米），定位精度（300納米）

3.5納米的位置穩定性

4.抗爬行十字交叉滾珠軸承

5.高動態特性

ANT130-R系列直驅旋轉臺

1.高分辨率（0.01角秒）

2.性能高

3.*的跳動指標

4.*的定位性能

5.高動態特性

6.多軸結構

ANT180-L系列納米平移臺

1．非接觸，無齒槽，無摩擦，直接驅動

2．零背隙，無磁滯現象

3．抗爬行十字交叉滾珠軸承

4．高達360毫米行程

5．高分辨率（1納米），重復定位精度（100納米），定位精度（150納米）

6．完整的多軸電纜管理系統