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    • NIE-3000離子束清洗系統

    NIE-3000離子束清洗系統

    參考價訂貨量

    1000000

    ≥1臺

    具體成交價以合同協議為準
    • 型號
    • 品牌其他品牌
    • 所在地國外
    • 更新時間2023-03-22
    • 廠商性質生產廠家
    • 所在地區上海
    • 實名認證已認證
    • 產品數量40
    • 人氣值1081
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    那諾-馬斯特中國有限公司成立于2015年4月,是服務大中華區(包含中國大陸,香港,中國臺灣和澳門)的客戶,同時我們在中國大陸設有專門的服務辦公室,提供銷售和售后技術服務。


    那諾-馬斯特中國的主要產品包括薄膜沉積設備、薄膜生長設備干法刻蝕設備、兆聲濕法清洗設備及太空模擬測試設備等等。Nano-Master的前身是那諾-馬斯特美國,該公司是法國那諾-馬斯*限公司于1992年在美國所創立的全資子公司,是一家國際前列的缺陷檢測和高速鍍層測量的計量公司。自從1993年開始Birol Kuyel博士全面接管那諾-馬斯特美國并正式更名。


    自2001年Nano-Master開始設計開發薄膜應用方面的設備,正式面世的系統依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統…。應用領域涵蓋了半導體、MEMS、光電子學、納米技術和光伏等。我們的設備包含用于二氧化硅、氮化硅、類金剛石和CNT沉積的PECVD,用于InGaN、AlGaN生長的PA-MOCVD,濺射鍍膜(反應濺、共濺 、組合濺),熱蒸發和電子束蒸發,離子束刻蝕和反應離子刻蝕,原子層沉積,兆聲清洗以及光刻膠剝離等。三十年左右的時間內Nano-Master已經發展成為國際薄膜設備的供應商,已售出的幾百套設備分布于20多個不同國家的大學、研發中心和國家重點實驗室。

    我們聘用技術熟練并具有良好教育背景的設計和制造工程師、應用工程師、服務工程師、技術支持人員,使得公司擁有專業的服務團隊。作為薄膜工藝的設備提供商,我們的目標是提供高品質的服務并始終維持超高水平的集成度。






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    產地進口 加工定制
    NIE-3000離子束清洗系統:是一款手動放片/取片,但工藝過程為全自動計算機控制的臺式離子束刻蝕系統,可以用于表面清洗、表面處理、離子銑等。
    NIE-3000離子束清洗系統 產品詳情

    NIE-3000離子束清洗系統產品概述:該系統為手動放片取片,但通過計算機全自動實現工藝控制的臺式離子束刻蝕系統,系統具有結構緊湊、功能強大、自動化程度高、模塊化設計易于維護、低成本的優勢。


    NIE-3000離子束清洗系統產品特點:

    • 低成本

    • 離子束:高達2KV/10mA

    • 離子電流密度100-360uA/cm2

    • 離子束直徑:4",5",6"

    • 兼容反應及非反應氣體(Ar, O2, CF4,Cl2)

    • 極限真空5x10-7Torr

    • 260l/s渦輪分子泵,串接500 l/min干泵

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    • 水冷旋轉/傾斜樣品臺(NIE-3500)

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    產品應用:

    • 表面處理

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    • 帶活性氣體的離子束刻蝕:  光柵刻蝕,以及SiO2,Si和金屬的深槽刻蝕




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