主要特性與技術(shù)指標(biāo)
廣泛的工作條件與精密測量功能相結(jié)合
· 適合功率器件表征的綜合解決方案，高達(dá) 1500 A 和 10 kV
· 中等電流測量和高電壓偏置（例如，500 mA，1200 V）
· μΩ 導(dǎo)通電阻測量功能
· 高電壓偏置時(shí)，可進(jìn)行精確的 sub-pA 電平電流測量
· 在 -50 ℃ 至 +250 ℃ 溫度范圍內(nèi)進(jìn)行全自動熱測試
廣泛的器件測量功能
· 可在高達(dá) 3000 V 直流偏置時(shí)執(zhí)行全自動電容測量（Ciss、Coss、Crss 等）
· 10 μs 高功率脈沖測量
· 封裝器件和晶圓上 IGBT/FET 柵極電荷測量
· 高電壓/強(qiáng)電流快速切換選件，適用于 GaN 電流崩塌效應(yīng)表征
· 多達(dá) 5 個(gè)高電壓（3 kV）電源/測量通道，提供的靈活性
· 通過互鎖測試夾具執(zhí)行安全的與溫度相關(guān)的測試
改進(jìn)的測量效率
· 在高電壓和強(qiáng)電流測量之間自動切換，無需重新布線
· 自動測試電路形成，可用于封裝器件和晶圓上器件的晶體管結(jié)電容（Ciss、Coss、Crss、Cgs、Cgd、Cds 等）測量
· 具有互鎖機(jī)制的標(biāo)準(zhǔn)測試夾具，可進(jìn)行封裝功率器件測試
· 支持高達(dá) 200 A 和 10 kV 的高功率晶圓上測試
· 示波器視圖支持對應(yīng)用電壓和電流波形的驗(yàn)證
· MS Windows EasyEXPERT 軟件簡化了數(shù)據(jù)管理和分析流程
可升級和可擴(kuò)展的硬件體系結(jié)構(gòu)
· 廣泛的測量模塊選擇
· 支持具有高達(dá) 6 個(gè)連接引腳的高功率器件
描述
Keysight B1505A 功率器件分析儀/曲線追蹤儀是能夠?qū)?sub-pA 電平至 10 kV 和 1500 A 的高功率器件進(jìn)行表征的綜合解決方案。這些功能能夠?qū)Φ钠骷ɡ?IGBT）和材料（例如 GaN 和 SiC）進(jìn)行測量。B1505A 支持各種模塊：高電壓 SMU（HVSMU）、強(qiáng)電流 SMU（HCSMU）、電流（UHC）模塊、超高電壓（UHV）模塊和高電壓中等電流（HVMC）模塊。B1505A 還支持：高功率 SMU（1 A/200 V）、中等功率 SMU（100 mA/100 V）、中等電流 SMU（1 A/30V 脈沖，100 mA/30V 直流）和多頻電容測量單元（1 kHz – 5 MHz）。B1505A 的 10 插槽模塊化主機(jī)支持您對其進(jìn)行配置，以滿足您的測量需求。
它還可以在高電壓偏置（高達(dá) 3000 V）時(shí)執(zhí)行全自動電容測量，例如 Ciss、Coss 和 Crss，也可以輕松地測試高頻開關(guān)轉(zhuǎn)換器的另一個(gè)重要參數(shù)——柵極電荷。還支持在 -50 ℃ 至 +250 ℃ 溫度范圍內(nèi)進(jìn)行自動熱表征。
B1505A 軟件環(huán)境以 Microsoft® Windows® 7 操作系統(tǒng)為基礎(chǔ)，包括曲線追蹤儀，支持用戶檢測器件特征和探測器件故障。如同使用曲線追蹤儀一樣，B1505A 提供旋鈕控制可變掃描功能，可對參數(shù)（例如擊穿電壓）進(jìn)行實(shí)時(shí)測量。B1505A 還提供“示波器查看功能”，可直觀地幫助操作人員優(yōu)化應(yīng)用于器件的電壓和電流。測量設(shè)置信息和數(shù)據(jù)可自動存儲到 B1505A 的內(nèi)置硬盤，并復(fù)制到 USB 閃存和其他便攜存儲器件。將器件測量結(jié)果匯總之后，測量數(shù)據(jù)可輕松復(fù)制到工程報(bào)告中。
強(qiáng)大的測試夾具解決方案對于確保操作人員安全（由于生成的高電壓和強(qiáng)電流）和支持各種功率器件封裝類型極為重要。以前的傳統(tǒng)曲線追蹤儀受功率器件大小的限制，無法對某些功率器件進(jìn)行測試，而且有時(shí)為了測試某一器件必須臨時(shí)裝配適配器。然而不論器件的大小或形狀如何，B1505A 的測試夾具可連接各種器件，例如功率 MOSFET、二極管和 IGBT 等。這可以通過大型測試夾具適配器和定制的測試夾具模塊來實(shí)現(xiàn)。此外，測試夾具的內(nèi)置互鎖機(jī)制可確保在測試器件過程中安全地應(yīng)用高電壓和強(qiáng)電流。
是德可提供一個(gè)轉(zhuǎn)換套件，使現(xiàn)有的 B1500A 用戶將其 B1500A 主機(jī)轉(zhuǎn)換為 B1505A 主機(jī)。這使當(dāng)前的 B1500A 用戶能夠以較低的成本擴(kuò)展現(xiàn)有儀器的電壓和電流測量功能。模塊選型指南
測量資源 | 所需模塊/擴(kuò)展器 | 所需插槽數(shù) | 配置 | 主要技術(shù)指標(biāo) |
高功率 SMU（HPSMU） | B1510A HPSMU | 2 | 4 | 高達(dá) 200 V、1 A，10 fA 電流分辨率 |
中等功率 SMU（MPSMU） | B1511B MPSMU | 1 | 10 | 高達(dá) 100 V、100 mA，10 fA 電流分辨率 |
強(qiáng)電流 SMU（HCSMU） | B1512A HCSMU | 2 | 2 | 20 A/20 V（脈沖）；1 A/40 V（直流）*1 |
高電壓 SMU（HVSMU） | B1513C HVSMU | 2 | 5 | 1500 V/8 mA；3000 V/4 mA（脈沖和直流） |
中等電流 SMU（MCSMU） | B1514A MCSMU | 1 | 6 | 1 A/30 V（脈沖）；100 mA/30 V（直流） |
多頻電容測量單元（MFCMU） | B1520A MFCMU | 1 | 1 | 1 kHz 至 5 MHz；0 至 ±25 V，使用 MFCMU 內(nèi)部直流偏置 |
高電壓中等電流單元（HVMCU） | M1266A HVSMU 電流擴(kuò)展器、 | 4 - 6 | 1 | ±1500 V / 2.5 A（脈沖），±2200 V/ 1.1 A（脈沖） |
電流單元（UHCU） | N1265A 電流擴(kuò)展器/夾具 | 2 - 4 | 1 | 1500 A/ 60 V（脈沖），22.5 kW 峰值功率、 |
超高電壓單元（UHVU） | N1268A 超高電壓擴(kuò)展器 | 2 - 3 | 1 | 10 kV/10 mA（直流），10 kV/ 20 mA（脈沖） |
*1. 使用兩個(gè) HCSMU 和雙 HCSMU 組合適配器，當(dāng)前的范圍可擴(kuò)展至 40 A/20 V（脈沖）和 2 A/40 V（直流）。
