FPSMAR-pod70.42 六軸并聯(lián)定位平臺(tái) 光學(xué)表面分析儀

參考價(jià): 面議

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型號(hào)FPSMAR-pod70.42
品牌
所在地
更新時(shí)間2022-11-25

孚光精儀（中國(guó)）有限公司

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地區(qū)
實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
產(chǎn)品數(shù)量1482
人氣值11261

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六軸并聯(lián)定位平臺(tái) 光學(xué)表面分析儀產(chǎn)品詳情

六軸并聯(lián)定位平臺(tái)70.42采用德國(guó)六自由度并聯(lián)機(jī)器人hexapod提供六軸并聯(lián)動(dòng)力學(xué)機(jī)器人式定位,提供六自由度操縱能力,具有更緊湊結(jié)構(gòu),更高剛性,更低的運(yùn)動(dòng)質(zhì)量和更高的響應(yīng)速度。
六軸并聯(lián)定位平臺(tái)70.42采用模塊化設(shè)計(jì),其尺寸和強(qiáng)度可以適應(yīng)不斷變化的要求,從幾厘米到幾乎一米的行程都可提供,并具有納米分辨率。

六軸并聯(lián)定位平臺(tái)70.42規(guī)格參數(shù)

分辨率<1nm
負(fù)載：500g (5N)
真空度:10^-11mbar
可提供非磁性材料制造（根據(jù)用戶要求）
垂直載荷Fv:5N

水平力Fh:2.5N

定位器尺寸:Ø 70 x 42 mm^3

重量:約300克

行程范圍：

x- 10 mm

y -10 mm

z -5 mm
Θx：14 °
Θy：16 °
Θz：28 °

帶納米傳感器-S閉環(huán)

最小增量（x，y，z）：1nm

最小增量（Θx,Θy,Θz）：1urad

重復(fù)精度(xyz全行程）：±200 nm

重復(fù)精度(Θxyz全行程）：±10urad

重復(fù)精度（1mm行程@xyz)：±15 nm

材料和真空可選項(xiàng)目

納米級(jí)距離編碼傳感器

非磁性材料（NM）
-高真空HV (10-6 mbar), -超高真空UHV / -UHVT (10-11mbar)
更多六軸并聯(lián)定位平臺(tái)應(yīng)用案例

關(guān)鍵詞：傳感器

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