這款垂直定位臺是專業(yè)為高精度垂直定位和高度升降設(shè)計的豎直定位臺,將水平運動轉(zhuǎn)換成垂直運動,是高精度垂直定位升降臺。
這款垂直定位臺提供高精度垂直定位和平滑的運動,負(fù)載高達(dá)10kg,采用wedge榫型設(shè)計和精密冷軋絲杠驅(qū)動。
垂直定位臺同時配置了高質(zhì)量直線軸承導(dǎo)軌系統(tǒng),確保在所有運動范圍內(nèi)都的平滑升降位移和較長使用壽命。精密軸承確保了定位臺剛度和穩(wěn)定性,而螺桿機(jī)械保證定位精度,同時安裝的光學(xué)限位開關(guān)為定位臺提供保護(hù)機(jī)械裝置。
我們還可以根據(jù)用戶要求提供其它步進(jìn)電機(jī)或伺服電機(jī),其中步進(jìn)電機(jī)可配線性編碼器和制動裝置。
垂直定位臺特點
真正垂直
設(shè)計緊湊
使用壽命長
具有對應(yīng)的真空版本的真空垂直定位臺
具有對應(yīng)的超凈間使用的超凈垂直定位臺
垂直定位臺規(guī)格參數(shù)
| 型號 | 8MVT120-12-4247 | 8MVT120-12-42C01（超凈間版本） |
| 行程范圍 | 12.7 mm (0.5英寸) | 12.7 mm (0.5英寸) |
| 全步分辨率 | 2.5 µm | - |
| 1/256步分辨率 | 0.018 µm* | - |
| 編碼器每轉(zhuǎn)脈沖數(shù) | by request | 4000 |
| 單次脈沖對應(yīng)位移 | - | 0.18 µm |
| 絲杠螺距 | 1 mm | 1.44 mm** |
| 楔形減速比 | 2:1 | 2:1 |
| 單向重復(fù)精度 | 1.5 µm | 1.5 µm |
| 雙向重復(fù)精度 | 3 µm | 3 µm |
| 10 µm | 10 µm | |
| 上升平行度（與底板平行度） | 35 µm (按要求可達(dá) 10 µm) | 35 µm (按要求可達(dá) 10 µm) |
| 速度 | 10 mm/s | 12 mm/s |
| 負(fù)載 | 10 kg (20 kg 按要求供應(yīng)) | 10 kg |
| 步進(jìn)電機(jī) | 4247 | - |
| 無刷直流電動機(jī) | - | DB42-100 |
| 制動 | 按要求提供 | + |
| 光耦端限位開關(guān) | 2 | 3 |
| 開關(guān)極性 | Pushed is open按下開啟 | Pushed is open按下開啟 |
| 電機(jī)連接接口 | DB9(M) | 按要求提供 |
| 材料 | 鋁 | 鋁 |
| 處理工藝 | 黑色陽極氧化硬殼 | 黑色陽極氧化硬殼 |
| 重量 | 3.5 kg | 3.9 kg |
| 控制器推薦 | 8SMC5-USB | 8SMC5-USB |
*螺釘涂TFE黑涂層,配備防反沖自潤滑塑料螺母,螺母提供了等于700萬個時間周期。
8MVT120-12-42C01型號是用于超凈間版本,適合清潔度級別達(dá)100,該型號還配備了真空套筒用于清除工作臺操作時堆積的灰塵。
