LT-2型單晶少子壽命測試儀
LT-2型單晶少子壽命測試儀是參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計的用于測量硅單晶的非平衡少數(shù)載流子壽命。半導(dǎo)體材料的少數(shù)載流子壽命測量，是半導(dǎo)體的常規(guī)測試項目之一。本儀器靈敏度較高，配備有紅外光源，可測量包括集成電路級硅單晶在內(nèi)的各種類型硅單晶，以及經(jīng)熱處理后壽命驟降的硅單晶、多晶磷檢棒的壽命測量等。
本儀器根據(jù)通用方法高頻光電導(dǎo)衰退法的原理設(shè)計，由穩(wěn)壓電源、高頻源、檢波放大器，特制的InGaAsp／InP紅外光源及樣品臺共五部份組成。采用印刷電路和高頻接插連接。整機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊、測量數(shù)據(jù)可靠。
技術(shù)指標(biāo) ：
測試單晶電阻率范圍 | >2Ω.cm |
可測單晶少子壽命范圍 | 5μS～7000μS |
配備光源類型 | 波長：1.09μm；余輝<1 μS； |
高頻振蕩源 | 用石英諧振器，振蕩頻率：30MHz |
前置放大器 | 放大倍數(shù)約25，頻寬2 Hz-1 MHz |
儀器測量重復(fù)誤差 | <±20％ |
測量方式 | 采用對標(biāo)準(zhǔn)曲線讀數(shù)方式 |
儀器消耗功率 | <25W |
儀器工作條件 | 溫度： 10-35℃、 濕度 < 80％、使用電源：AC 220V，50Hz |
可測單晶尺寸 | 斷面豎測：φ25mm—150mm； L 2mm—500mm； |
配用示波器 | 頻寬0—20MHz； |
