質量控制器 微小氣體質量流量計 AX10FD 實驗專用氣體質量計
一、概述
質量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC) 用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、是有工業、醫藥、***和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
二、 工作原理
AX10FD 系列氣體質量流量控制器的精度、堅固性及可靠性源于我公司*的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動校正溫度及壓力變化產生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器（RTD）。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內。
三、技術參數
四、產品特點：
- 可實現小流量測試，精度高
- 低功耗便攜式設計
- RS485通訊方式可實現網絡集中化管理
- 實時監測瞬時流量和計算累計流量
- 密碼管理，超限報警
- 友好的接口方式，實用于各種氣體監測的應用場合
- 銅制管體(可選）能夠用于各種氣體介質測量
- 體積小，易于安裝
