KOSAKA 臺階儀ET4000系列
產品概述：
● 高精度．安定性．機能性適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細形狀、段差、粗度測定的機型。
● 是多機能的全自動微細形狀測定機，針對用途及樣品尺寸有多種機型可供選擇。
● ET4000A/ ET4000AK一可實現2D/3D表面形狀測量。
● ET4000M一高性能的泛用微細形狀測定機。
● ET4000L一對應大型工件的全自動
產品概述：KOSAKA 臺階儀ET4000系列
● 高精度．安定性．機能性適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細形狀、段差、粗度測定的機型。
● 是多機能的全自動微細形狀測定機，針對用途及樣品尺寸有多種機型可供選擇。
● ET4000A/ ET4000AK一可實現2D/3D表面形狀測量。
● ET4000M一高性能的泛用微細形狀測定機。
● ET4000L一對應大型工件的全自動微細形狀測定機。
● ET4300一適合12"樣品測量。
●各機型詳細參數請與區域銷售聯系。
臺階儀/膜厚儀ET4000系列產品參數KOSAKA 臺階儀ET4000系列
| 大試片尺寸 | 210×210mm~300×400mm |
|---|---|
| 重現性 | 1σ 0.5nm以內 |
| 測定范圍 | Z:100um X:100～305mm (Y移動量:150~400mm) |
| 分解能 | Z:0.1nm X:0.1um |
| 測定力 | 0.5UN~500UN (0.05mg-50mg) |
臺階儀可以應用在半導體，光伏/太陽能，光電子，化合物半導體，OLED，生物醫藥，PCB封裝等領域的薄膜厚度，臺階儀測量薄膜厚度,臺階高度，粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），劃痕深度，磨損深度，薄膜應力（曲定量率半徑法）等定量測量方面。其高精度，高重復性，自動探索樣品表面
