國華電子真空等離子清洗機的常用氣路控制閥
真空等離子清洗機的氣路控制主要由工藝氣體控制和真空氣路控制兩大部分組成。工藝氣體控制部分常用控制閥有真空電磁閥、止逆閥（止回閥）、氣動球閥。真空氣路控制部分常用控制閥有高真空氣動擋板閥、手動高真空角閥、電磁真空帶充氣閥。
國華電子真空等離子清洗機的常用氣路控制閥
真空等離子清洗機的氣路控制主要由工藝氣體控制和真空氣路控制兩大部分組成。工藝氣體控制部分常用控制閥有真空電磁閥、止逆閥（止回閥）、氣動球閥。真空氣路控制部分常用控制閥有高真空氣動擋板閥、手動高真空角閥、電磁真空帶充氣閥。
1 工藝氣體控制常用控制閥
（1）真空電磁閥
真空等離子清洗機需保證真空腔體內工作真空度在設計范圍內，那么與真空腔體相連的閥門必須滿足高真空密封的要求，所以常規的工藝氣體控制都是選用真空電磁閥。因工藝氣體都是單路控制，所以選用的真空電磁閥為兩位兩通式。
（2）氣動球閥
氣動球閥具有高真空密封、耐腐蝕、口徑大等特點，所以當真空等離子清洗需通入特殊單體時會被應用于氣路控制中。根據實際使用需求選用兩通式或三通式。
（3）止逆閥
止逆閥又稱止回閥，在氣路控制中主要是防止氣體回流，起到保護氣路控制部分其他器件和防止相互反應氣體匯合的作用。使用時需注意其標注的氣流方向。下圖為典型的真空電磁閥與止逆閥配合使用圖示。
2 真空氣路控制常用控制閥
（1）高真空氣動擋板閥（GDQ）
通常真空等離子清洗機在短時間待機狀態下會保持真空泵處于運行狀態，高真空氣動擋板閥用于接通或切斷真空管路中的氣流，以實現真空腔體抽真空的啟動和關閉。
高真空氣動擋板由壓縮空氣作為動力，穩定可靠，而且維護方便，在真空等離子清洗機中被廣泛應用。
（2）電磁真空帶充氣閥（DDC）
電磁真空帶充氣閥用于真空泵隨運行參數啟動的真空等離子清洗機，屬于電磁閥類。當真空泵運行時電磁真空帶充氣閥打開，真空泵關閉時閥門線圈斷電閥門靠機械力關閉，其主要作用是防止真空泵內油氣因真空腔體內負壓作用而被倒吸。
電磁真空帶充氣閥安裝簡單，但穩定性相對較差，長時間使用，閥門磁力會衰退同時復位彈簧易反應遲緩，目前大多被應用于實驗型真空等離子清洗機。
3）手動高真空角閥
真空等離子清洗機所用的手動高真空角閥通常為定制型，主要用于手動控制真空氣路通斷、分斷測壓等。通常會在角閥上焊接一個KF16接頭，以便連接真空計。
這種閥門在真空等離子清洗中已經很少被應用，主要應用于部分實驗設備及真空管道檢漏。
國華電子真空等離子清洗機的常用氣路控制閥
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