質量流量控制器的原理和結構

    質量流量控制器工作原理和結構：

 

    質量流量控制器傳感器采用微機械加工技術，質量流量控制器實現微小流量測量，其特點是可靠性高、重復性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償，廣泛應用于輕工、化工、環保及半導體等工業部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。

 

    流量控制器工作原理：

 

    質量流量計采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量(無需溫度和壓力補償)，將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量測量電壓與設定電壓進行比較，再將差值信號放大后去控制調節閥，通過閉環控制來控制通過的流量，并使之與設定的流量相等，分流器決定主通道的流量，圖為MFC和流量顯示儀連接后的工作原理圖：

 

    控制器輸出的流量檢測到的電壓與流過通道的氣體質量成正比，滿量程檢測輸出電壓為5VDC，氣體質量流量控制器的檢測范圍為2~100%滿刻度(量程比為50：1)，流量分辨率為0.1%滿刻度。注意：氣體質量流量控制器的“閥控“線置于“清洗“位時也可以當成氣體質量流量計使用，這時，流量檢測輸出電壓的輸出值可能達到10VDC以上。需要注意的是，一旦輸出電壓超過5VDC，流量檢測電壓和實際通過的流量不成線性對應關系。清洗時，流量顯示是不準確的，而且還可能出現流量增大、顯示減小的現象，但這些不會損壞質量流量控制器。

 

    質量流量計和質量流量控制器結構：

 

    質量流量計含流量傳感器、分流器通道和流量放大、線性化及溫度補償電路組成。增加電磁閥和PID控制電路就構成了流量控制器。

 

    產品特點：

 

    ·產品集成度高，集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體，并可實現自動調節、控制閥門

 

    ·微流量感熱式傳感器采用大規模集成電路生產技術和材料加工技術，使流量計的微流量測量靈敏度顯著提升

 

    ·微小流量氣體測量，ml/min級的微流量測控，實現微小流量測量的數字化

 

    ·單個芯片的**流量特性的微處理技術，使流量計的量程范圍大大提高

 

    ·機電一體化優化設計，智能化的數據處理技術，使流量計具有更好的重復性，實現了計量的準確、可靠

 

    ·結構的優化，流量計的壓力損失達到*小化

 

    ·采用國際*新的傳感技術，使流量計工作更穩定、可靠

 

    ·開創零點自校功能，測量更準確

 

    ·多種氣體實際標定，全量程補償

 

    ·快速響應、數據自動存儲，配合上位機可實現網絡集中管理

 

    ·規格齊全，量程范圍寬，可根據用戶要求單獨標定

 

    ·精度等級高，滿足用戶高精度測量要求

 

    ·獨有的流量計報警功能，使監控更可靠

 

    ·操作、設置界面友好、簡便，可根據需要自行設定相關參數

 

    ·運用行業多，是科研院所、分析儀表行業、半導體行業、光伏行業、玻璃鍍膜、石油化工行業微小氣體流量控制產品升級換代的優選

 

    流量控制器技術參數：

 

    ·測量介質：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）

 

    ·測量管徑：DN3，4，6，8，10

 

    ·流量范圍：30，60，80，100，300，600，800，1000sccm；10，20，30，50，80，100SLPM

 

    ·流量測量準確度：±1.5%FS；±2.5%FS

 

    ·工作溫度范圍：-25℃-55℃

 

    ·工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa

 

    ·供電電源：24VDC±10%

 

    ·輸出信號：4-20mA，RS485通訊

 

    ·環境溫度：-25℃-55℃

 

    ·顯示位數：瞬時流量為三位，累積流量10位