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    光刻膠HMDS預處理常見問題

    來源:蘇州格萊尼爾精密控濕設備有限公司   2025年08月08日 07:12  
    光刻膠HMDS預處理常見問題
     
    1.HMDS是如何涂在硅片表面的?是像勻膠那樣甩涂嗎?另外,是在什么溫度下操作,需不需要在加熱硅片的同時涂覆,還是等去把硅片清洗完畢烘干冷卻后甩涂?

    答:HMDS是氣相涂布在硅片表面,也就是硅片在HMDS的蒸汽中放置一會兒,溫度約100-180度即可
     

    2.在涂光刻膠之前需要把涂有HMDS的硅片烘干冷卻后在涂光刻膠嗎?還是把涂有HMDS的硅片不烘干直接涂膠?

     答:HMDS處理后需要冷卻后涂膠,但等待時間不能太長,過長處理效果會變差,建議4小時內完成涂膠
     


    3.在HMDS上面在滴光刻膠甩涂時,光刻膠內的溶劑會不會又把HMDS層給破壞呢?

    答:HMDS上面涂膠不影響HMDS的處理效果
     


    4.在顯影過程中硅片表面的HMDS層如何去除掉才能使被刻蝕的硅表面露出?

    答:HMDS本身是表面改性,HMDS本身不會涂在園片表面,因此不用擔心去除HMDS層

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