HMDS預處理真空烘箱故障排查與維護技巧說明

來源：北京中科博達儀器科技有限公司 2025年07月26日 07:17

　　HMDS預處理真空烘箱在電子產品制造過程中起著至關重要的作用，它能夠確保光刻膠與硅晶圓之間的良好附著力，從而提高光刻工藝的精度和成功率。然而，任何設備的正常運行都離不開日常的維護和及時的故障排查。

　　一、日常維護

　　清潔工作：每次使用后，應及時清理HMDS預處理真空烘箱內的雜物和殘留物料，用干凈的濕布擦拭內壁和擱板，確保無污垢和灰塵積累。

　　檢查密封性：定期檢查門的密封圈，確保其完好無損，無老化、變形或破損。如有損壞，應及時更換，以保證良好的真空密封效果。

　　真空系統維護：定期檢查真空泵的油位和油質，及時更換或添加真空泵油；清理真空泵的進氣口濾網，防止灰塵和雜物堵塞。

　　電氣部件檢查：檢查電源線是否有破損、插頭是否松動，以及控制面板上的按鈕和指示燈是否正常工作。

　　二、故障排查技巧

　　真空抽不上：首先檢查密封條是否老化失效，然后檢查真空泵是否失效，接著確認門是否關緊，檢查真空表是否顯示假象。

　　溫度波動大：檢查外界供電電壓是否穩定，以及控溫儀表是否漂移。如果供電電壓不穩定，可以考慮使用穩壓器；如果控溫儀表漂移，應及時校準。

　　不升溫：檢查加熱器、傳感器和繼電器是否斷路，以及控溫儀表是否設定正確。如果加熱器損壞，應及時更換；如果傳感器或繼電器故障，也應盡快維修或更換。

　　控溫失效：檢查傳感器和繼電器是否短路，以及控溫儀表是否失效。如有必要，可聯系專業人員進行維修。

　　三、注意事項

　　外殼需要有效接地，以確保使用安全。

　　取出被處理物品時，如處理的是易燃物品，需要待溫度冷卻到低于燃點后，才能放入空氣。

　　烘箱發生異常現象時，應及時檢查、維修，如不能準確判斷故障。

　　HMDS預處理真空烘箱的日常維護和故障排查是確保其穩定運行的關鍵。只有做好這些工作，才能確保光刻工藝的順利進行，提高電子產品的制造質量。

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