兩探針法測量橫截面尺寸

來源：北京中慧天誠科技有限公司 2025年06月17日 22:03

兩探針電阻率測試儀是按照SEMI MF397-1106（用兩探針測量電阻率的測量方法）“兩探針法”的要求。適用于測量橫截面尺寸是可測量的，棒的長度與橫截面MAX尺寸之比不小于3：1。橫斷面為圓形、正方形、長方形或梯形的單晶或多晶錠。由于兩探針法的測量電流是從長棒兩端進出，遠離電壓測量探針，因此電流流過金屬與半導體接觸處產生的許多副效應（如珀爾帖效應、塞貝克效應、少子注入效應等）。

儀器是由電氣測量、測試臺及兩探針頭組成。儀器具有精度為0.05%的恒流源以及雙數字表，在測量電阻率的同時，另一塊數字表監測電流變化，儀器還配有恒流開關，儀器測量軟件配合探頭在硅棒上移動測量，自動計算多點的電阻率、正反向電阻率平均值、電阻率的MAX值、電阻率MIN值，MAX百分變化，測量數據存儲在數據庫中，可查詢測量數據或按條件查詢；提供打印及導出格式供選擇。

規格參數：

測量范圍

硅晶體電阻率：0.005-10000Ω·cm

硅棒尺寸：長300mm、直徑20mm（可按要求更改）

恒流源

輸出電流：DC0.001-100mA，五檔可調

量程范圍：0.001-0.01mA（1-10μA）、0.01-0.1mA（10-100μA）、0.1-1.0mA、1.0-10mA、10-100mA

恒流精度：±0.05%

直流數字電壓表

測量范圍：0-199.99mV

靈敏度：10μV

兩探針頭

探針間距：1.59±0.01mm

探針直徑：Φ0.8mm

游移率：＜0.2%

探針材料：硬質合金

探針壓力：3±1N/單針

供電電源：AC 220V±10%，50/60Hz

功率范圍：12W

環境溫度：23±2℃

兩探針電阻率測試儀ρ：0.005～50000Ω•cm

型號：GDS/KDY-2(磷硼棒)

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