3D光學干涉輪廓儀技術詳解：從原理到應用

來源：上海人和科學儀器有限公司 2025年06月07日 07:18

一、技術原理

3D光學干涉輪廓儀主要基于白光干涉原理進行工作。其光源發出的光經過擴束準直后，通過分光棱鏡分成兩束。一束光經被測表面反射，另一束光經參考鏡反射。兩束反射光最終匯聚并發生干涉，形成干涉條紋。這些干涉條紋通過顯微鏡轉化為信號，再由專業軟件進行處理，以獲取樣品表面的三維形貌。

二、技術特點

高精度：利用白光干涉技術，3D光學干涉輪廓儀可實現納米級甚至亞納米級的測量精度。

非接觸式：通過光學原理進行測量，無需與被測物體直接接觸，避免了機械磨損和樣品損傷。

快速便捷：優化聚焦和算法使得測量速度極快，能夠快速構建3D圖形表面。

三、應用領域

3D光學干涉輪廓儀廣泛應用于多個領域：

材料科學：用于納米材料、半導體等材料的表面形貌和粗糙度測量。

航空航天：對航空器、衛星等高精度零部件的表面質量進行檢測。

精密制造業：測量各類精密儀器、設備及工具表面的形貌，確保產品質量。

生物醫學：對生物組織、細胞等表面形貌進行非破壞性測量，為生物學研究提供支持。

總之，3D光學干涉輪廓儀以其高精度、非接觸式、快速便捷的特點，在多個領域展現出廣泛的應用前景。

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