精度不夠？PLR3000光纖激光尺：0.2ppm誤差解鎖微米級制造

當“精度焦慮”成為制造業的隱形門檻：

在半導體光刻中，1nm偏差可能導致整片晶圓報廢；

在精密機床加工中，熱變形讓傳統測量工具“失靈”……  

“高精度、高穩定、抗干擾”——工業超精密制造的三大痛點，如何破局？

PLR3000系列光纖激光尺基于激光干涉測量原理，具有更加精確的柵距和更高的分辨率，同時其熱源隔離設計，保證了更高的穩定性，同時具有安裝快捷，易于準直等特點，在微電子、微機械、微光學等現代超精密加工制造、光刻技術等高科技領域廣泛應用。

核心優勢

1、高精度

分辨率10nm（可拓展），線性測量精度0.2ppm，穩頻精度0.02ppm，滿足納米級測量需求。

環境氣象站實時補償溫度、濕度、氣壓對測量的影響，確保數據長期穩定。

2、靈活配置

支持單軸、雙軸、三軸輸出，輕松實現多自由度測量。

可選差分干涉儀、平面鏡干涉儀、角錐棱鏡干涉儀等多種探頭，適配復雜場景。

3、高穩定性與便捷性

激光光源與探頭分離設計，3米鎧裝光纖連接，避免設備散熱干擾，安裝靈活。

體積小巧，適配狹小空間，降低阿貝誤差風險。

4、廣泛適用性

最大量程4米（可拓展），支持動態速度達2m/s，覆蓋從靜態檢測到高速運動場景。

光纖激光尺比傳統光柵精度高10倍，分辨率達原子層級（10nm=100個原子直徑！）  PLR3000 系列光纖激光尺已在多個客戶端進行精度驗證：用差分干涉（DI）探頭對高精度納米位移臺進行閉環控制，在10mm行程內任意位置實現納米級位置控制精度。