H32.TR4S系列三軸角度運動高精度壓電偏擺/旋轉臺

來源：哈爾濱芯明天科技有限公司 2024年11月07日 13:19

H32.TR4S系列壓電偏擺/旋轉臺其內部采用無摩擦柔性鉸鏈結構設計，可實現θx、θy偏擺及θz旋轉三維運動。它具有響應速度快、閉環定位精度高、負載大等特點。因其優異的性能，可在模擬振動環境中作為模擬振動臺，完成高精度、快速的微振動控制，從而滿足用戶對精密裝備控制精度的測試分析，以驗證和提高精密儀器與裝備的性能。產品外觀如下圖所示。

產品特點

θx、θy偏擺及θz旋轉

θx、θy偏擺角度可達4.6mrad/軸

θz旋轉角度可達3.2mrad

分辨率可達0.05μrad

承載可達1kg

閉環版本定位精度高

亞毫秒響應時間

產品應用

振動試驗

空間擾動模擬系統

干涉/計量

大負載運動試驗

技術參數

型號		H32.TR4S/K
運動自由度		θx、θy、θz
驅動控制		4路驅動，3路傳感/4路驅動
標稱偏擺角度（0~120V）		θxθy: 3.7mrad θz: 2.6mrad
Max.偏擺角度（0~150V）		θxθy: 4.6mrad θz: 3.2mrad
傳感器類型		SGS/-
分辨率		θxθy: 0.15/0.07μrad θz: 0.1/0.05μrad
閉環線性度		可達0.03%F.S.
閉環重復定位精度		可達0.02%F.S.
空載諧振頻率		θxθy: 250Hz θz: 560Hz
帶載諧振頻率@1kg		θxθy: 140Hz θz: 200Hz
靜電容量		θxθy: 14.4μF θz: 10.8μF
階躍時間		30ms@1kg/10ms
承載能力	水平安裝	1kg
	立式安裝	0.5kg
	倒置安裝	0.5kg
材質		不銹鋼、鋁合金
重量（不含線）		2240g

配套控制器

E70.D4系列壓電控制器非常適用于驅動H32.TR4S系列壓電偏擺/旋轉臺。它是一款小體積、大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的四通道壓電控制器。采用DC24V供電，輸出電壓為0~120V或0~150V，開閉環可選，模擬及數字控制，可通過串口、USB或網口進行數字通信，且體積小，非常易于集成。

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