P60.Z1000系列一維壓電納米定位臺(tái)，行程可達(dá)毫米！

來源：哈爾濱芯明天科技有限公司 2024年11月04日 10:42

P60.Z1000系列壓電納米定位臺(tái)是一款具有大行程特點(diǎn)的一維Z向運(yùn)動(dòng)壓電平臺(tái)。它的內(nèi)部采用高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，配合無摩擦柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)，利用機(jī)構(gòu)放大的驅(qū)動(dòng)形式，實(shí)現(xiàn)大行程精密定位運(yùn)動(dòng)，行程可高達(dá)1mm。它的負(fù)載可達(dá)1.5kg，在行程大的同時(shí)兼具了大負(fù)載的特點(diǎn)。該產(chǎn)品可選配高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)精密定位控制。可廣泛應(yīng)用于光學(xué)、半導(dǎo)體、航空航天、生物醫(yī)療等領(lǐng)域。產(chǎn)品外觀如下圖所示。

產(chǎn)品特點(diǎn)

Z向位移1000μm

承載1.5kg

毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間

閉環(huán)重復(fù)定位精度高

可選閉環(huán)傳感器

真空版本可選

產(chǎn)品應(yīng)用

光學(xué)測(cè)量

光學(xué)檢測(cè)

顯微掃描

激光干涉

生物科技

納米操控技術(shù)

納米光刻

納米測(cè)量

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)		P60.Z1000S/K-C
運(yùn)動(dòng)方向		Z
驅(qū)動(dòng)控制		1路傳感/1路驅(qū)動(dòng)
標(biāo)稱行程范圍（0~120V）		800µm
Max.行程范圍（0~150V）		1000µm
傳感器類型		SGS/-
分辨率		35nm/10nm
閉環(huán)重復(fù)定位精度		0.1%F.S./-
空載諧振頻率		80Hz
承載能力	水平安裝	1.5kg
	立式安裝	0.02kg
	倒置安裝	0.05kg
靜電容量		72μF
材質(zhì)		鈦、鋁
重量		＜1.3kg

配套控制器

E53.D系列壓電控制器非常適用于驅(qū)動(dòng)P60.Z1000系列壓電納米定位臺(tái)。E53.D系列是針對(duì)小體積應(yīng)用要求而設(shè)計(jì)的單通道控制器，體積小巧，外形尺寸僅為148×27.5×80mm^3，重量為350g，供電電壓24VDC/1A。機(jī)身帶有散熱區(qū)域，可迅速導(dǎo)出產(chǎn)生的熱量，上位機(jī)軟件支持二次開發(fā)，體積小巧，易于集成。

相關(guān)產(chǎn)品

免責(zé)聲明

凡本網(wǎng)注明“來源：儀表網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-儀表網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：儀表網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其它來源（非儀表網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)或和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí)，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。