MEMS流量傳感器技術

 矽翔微機電系統有限公司具有自主知識產權的MEMS質量流量傳感器技術能根據用戶的需求提供的在線流量計量。傳感器系采用矽翔微機電系統有限公司*的CMOS兼容MEMS工藝制造，保證其具有*的可靠性。傳感器可測量低至0.01m/sec及高達65m/sec。針對不同的應用，傳感器可用于測量氣體的質量流量、體積流量及介質流速。專門設計的電路具有放大及微小信號處理功能以保證高精度輸出。
    不同于其它MEMS傳感技術，矽翔微機電系統有限公司在單個傳感芯片上集成多個傳感器。芯片表面采用具有高導熱性能的陶瓷材料鈍化處理，在保證傳感器的靈敏度的同時避免傳感器與氣體介質直接接觸以提高其可靠性。當沒有氣體介質流過MEMS傳感器芯片時，傳感器周圍保持穩定的溫度場（溫度分布）。當氣體介質流過傳感器芯片時，溫度場因為流體介質帶走熱量導致局部溫度重分布。這種局部溫度場變化取決于流體介質的質量及流速。集成在芯片上的傳感器對此溫度分布進行測量，通過校準，專門設計的信號處理電路和智能控制軟件可測量實際的介質質量流速。介質質量流速則可換算成體積流速及累計介質體積流量。
    矽翔微機電系統有限公司的流量傳感器可采用多種形式的封裝，從而增加了其應用的廣泛性。