薄膜溫度傳感器的一些研究情況

來源：上海余洋傳感科技有限公司 2012年11月23日 20:19

薄膜溫度傳感器是一種新型的測溫傳感器，工作原理與普通熱電阻，熱電偶相同，但它的熱接點厚度一般只有幾微米。薄膜溫度傳感器由于具有體積小、響應時間短、靈敏度高、便于集成等特點，適于測量物體隨時間快速變化的溫度。薄膜熱電偶的原理zui早是由德國人P.Hackmann于*次世界大戰期間提出的，并將研制出膜厚只有2um的薄膜熱電偶傳感器用于測量槍膛在彈射出后的溫度變化腳。其后世界各地許多學者對薄膜溫度傳感器的結構、制備方法、性能和應用前景進行了大量研究工作，并取得了令人鼓舞的進展，近年來廣泛地應用在內燃機活塞頂面、燃燒室壁面和切削刀尖等瞬態溫度測試中。國內西北工業大學的李付國，黃呂權等人研制出新型的薄膜熱電偶溫度傳感器用于測量鍛模工作表面和內部瞬態溫度；西安公路交通大學的錢蘭等研制出用于內燃機壁面傳熱過程分析的薄膜溫度傳感器；大連理工大學精密與特種加工*重點實驗室的孫寶元等人研究并制作出用于測量切削溫度的NiCr/NiSi薄膜熱電偶。
研制薄膜溫度傳感器的關鍵是解決鍍膜耐磨、牢固性、抗沖擊和絕緣問題以及膜層間的結合難度，國內外學者都有對鍍膜工藝做了大量的研究并制作出相應的薄膜式傳感器。到目前為止，研究人員研制出的薄膜式溫度傳感器可以某些場合得到很好的應用，但其通用性存在不足，并且成本高；同時，受到工藝和材料的限制，傳感器的使用壽命一般都較短。

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