0.1μm超小型粒子計數器在半導體芯片制造環境中的應用

在半導體芯片制造過程中，對生產環境的潔凈度要求非常高，必須禁止因粉塵顆粒、工藝偏差等因素造成晶體短路或斷路，控制凈化環境下的作業現場中超微小顆粒物數量，以保證產品質量和提升產品良率，特別是對于0.1μm粒子的檢測至關重要。

在半導體芯片生產過程中，粒子計數器主要應用于：

1. Fab廠的制造工藝檢測：在晶圓的光刻、涂膠顯影、刻蝕等多個工藝環節中，使用粒子計數器檢測環境中的塵埃粒子，確保工藝的精確性。

2. gao端封裝過程：在晶圓切割封裝過程中，粒子計數器同樣發揮著關鍵作用，保證封裝質量。

3. 半導體設備生產工藝的質量監測：通過粒子計數器對設備工藝點進行監控，確保生產過程的穩定性和產品質量。

參考法規和標準：

粒子計數器嚴格遵守ISO 21501-4法規，并滿足ISO 14644-1（2015）潔凈室懸浮粒子測試方法的要求，適用于class 1至6級的潔凈室環境。

使用方法：

參照ISO14644-1（2015）法規的內容，針對不同潔凈度等級下監測粒徑的上限要求，通過法規內容的計算方法測算采樣點數及每個點采樣時間，對儀器進行設定后，按照該方法進行逐個點位測試。

KANOMAX公司推出的超小型塵埃粒子計數器3950-00，同時監測0.1μm和0.3μm的單位體積內的微小粒子個數，也可作為傳感器嵌入生產設備實時監測作業現場的超微粒子，為凈化作業環境的潔凈度評定提供依據，為芯片制造保駕護航！

Kanomax塵埃粒子計數器3950-00，不僅將經典品質傳承，而且實現了嵌入組裝在半導體制造等裝置中。

既往產品尺寸難以嵌入半導體制造裝備中使用，本產品通過壓倒性的小型化，使傳感器嵌入設備中使用變為簡便易行。

致輕、致小，采樣量2.83L/min，同時測試0.1μm、0.3μm微小粒子，4.3英寸彩色觸摸屏顯示屏，可使用附帶軟件在PC上顯示測試數據。設有RS-485、Ethernet、USB通訊接口。

0.1μm超小型粒子計數器在半導體芯片制造環境中的應用