虹潤溫度控制器在單晶爐設備改造中的應用

一、摘要

       虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器適用于需要進行高精度多段曲線程序升/降溫控制的系統，它可根據生產過程的要求，按照一定的曲線進行控制，最多可分59段曲線對象進行編程控制，每一段均采用PID參數設定控制，使控制更為精確可靠，方便靈活的曲線控制功能，可實時監控曲線程序段的運行時間和狀態，多種事件輸入功能。通過多種曲線控制輸出功能，可實現曲線控制暫停、曲線控制清零、曲線控制步進等功能，并可實現手/自動無擾動切換。

二、產品的市場背景

       單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。單晶爐需要控制的內容包含晶體的直徑、溫度（功率）、原料（硅料）、泄漏率和氬氣質量等，其中溫度控制好壞直接影響到是否成為晶體的關鍵因素。虹潤自主開發的虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器在單晶爐的溫度控制中發揮著重要的作用。

三、產品的主要技術原理

       1、軟件采用人工智能控制算法，通過上電自動跟蹤測量值變化，根據時間和所設定控制值的函數關系分段實現溫度的升溫、保溫和降溫的溫度調節

       2、根據編程的生產工藝曲線，可實現曲線的步進、跳轉、停止、清零等功能

       3、產品在整個單晶路溫度調節中主要負責溫度的精準控制。

四、產品的應用

       虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器在單晶路溫度控制原理圖見下圖：

       電路說明：交流電源經變壓器降壓后使用，輸出電壓25V，輸出電流28A、MJYD-JL-75為晶閘管智能模塊，內含晶閘管和移相控制電路，輸出最大電壓450V，最大電流75A，L1為過流保護熔斷器，RSV為過壓保護阻容元件。RW為電爐絲。

       NHR-5400輸出為0-10MA電流，經過1K電阻后，輸出變為0-10V直流電壓，滿足晶閘管模塊的輸入電壓要求。

       主要控制設備：虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器

       輔助設備：熱電偶、可控硅、固態繼電器、過壓保護阻容器件等

       根據單晶爐溫度控制的特點，虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器設定工藝曲線如下：

產品圖片:

五、結束語

       采用虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器作為主核心控制系統以來，碲鎘汞單晶爐的控制運行狀況良好，至今仍出現，可以替代進口的控制儀表。無論從運行實際狀況來看，還是從性價比來看，選擇NHR-5400確實能夠要求。