電子行業廠房無塵車間環境技術要求——潔凈度懸浮粒子檢測方法

      電子行業是一個多元化的行業，包含新能源鋰電、光伏、電路板、半導體、電子材料、電子產品等眾多領域。近十多年來科學技術日新月異，對于新產品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切，同時對無塵凈化技術的設計和發展提出了更高的要求。
        由于電子產品在制造、生產過程中對室內空氣環境和品質的要求極為嚴格，潔凈生產車間環境監測指標應包括溫度（℃）、濕度（%RH）、懸浮粒子、風速、壓差、噪聲、照度、靜電、氣態分子污染物等。
        其中采用塵埃粒子計數器檢測受控環境中懸浮粒子數量來驗證潔凈度等級是最關鍵的。粒子數量超出潔凈度等級所允許的限值時，將造成受控環境的異常，導致潔凈度等級降低，嚴重影響產品質量。


 
懸浮粒子測試方法：
1、室內測試人員必須穿潔凈服，不得超過2人，應位于測試點下風側并遠離測試點，并應保持靜止。進行換點操作時動作要輕，應減少人員對室內潔凈度的干擾。
2、檢測前和檢測后設備按照標準要求進行“清零”自凈。



3、在單向流區域，所選擇的采樣探頭應接近等動力采樣，進入采樣探頭的風速與被采空氣的風速偏差不應超過20%。若無法做到這一點，將采樣口正對氣流的主方向。非單向流的采樣點，采樣口應豎直向上。
4、采樣口至粒子計數器的連接管應盡量短。



5、采樣點一般離地面0.8-1.5m左右，要均勻科學布點，而且要避開回風口。對任何小潔凈室或局部空氣凈化區域，采樣點的數目都不得少于2個，按照法規標準ISO14644及GB16292等內容中執行，最少采樣點數目對應懸浮粒子采樣點數，關鍵設備或關鍵工作活動范圍處可增加測點。
6、按照ISO14644法規、GB25915法規、GB16292法規標準等內容進行測試，用戶根據標準內的測試方法進行采樣點數量、采樣次數、每個點采樣量（即計算采樣時間）確認好相關要求，即可逐步進行粒子潔凈度的監測，測試結果對照法規等級表進行確認是否合格。
 

 
粒子計數器引用標準如下：
《國際標準潔凈室及相關受控環境》 ISO 14644-1:2015
《醫藥工業潔凈廠房設計標準》 GB 50457
《食品工業潔凈用房建筑技術規范》 GB50687
《潔凈廠房設計規范》 GB 50073
《電子工業潔凈廠房設計規范》 GB 50472
《醫藥工業懸浮懸浮粒子測試方法》 GB/T16292
《潔凈室施工及驗收規范》 GB 50591
《潔凈室及相關受控環境》 GB 25915
 
國家標準潔凈廠房潔凈設計規范與國際標準 ISO 數據對照