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    新品推薦|XD605.X90一維大負載電容傳感壓電納米定位臺及配套電容閉環控制器

    來源:哈爾濱芯明天科技有限公司   2024年02月23日 13:15  
    新年伊始,萬象更新。芯明天持續深挖行業需求,攻克技術壁壘,推陳出新,為客戶解決一個又一個精密定位技術的難題。

     

    本次為大家介紹一款一維大負載電容傳感壓電納米定位臺-XD605.X90。產品外觀如下圖所示。
    圖片

    X向運動、大負載


    XD605.X90可實現一維X向直線運動,行程可達到95μm,負載可達10kg,分辨率可達3nm,為大負載應用提供更優質的解決方案。


    電容式傳感器


    XD605.X90閉環版本采用電容傳感,閉環線性度可達0.021%F.S.,閉環重復定位精度可達0.005%F.S.,由于電容式傳感器是根據兩個電極之間的電容變化來測量物理量,所以它不受溫度、磁場環境等因素影響,在精度、響應速度、穩定性、可靠性和成本方面具有很多優勢。


    三種位姿、易使用


    XD605.X90它在使用放置方式上進行突破,可正立、側臥、倒置三種位置使用,可滿足更多設備或系統對負載位姿的要求。
    圖片


    產品應用


    顯微掃描、光路調整、納米操控技術、激光干涉、納米光刻、生物科技、光通信、納米測量、顯微操作、納米壓印等。


    技術參數


     

    型號

    XD605.X90C/K

    運動自由度

    X

    驅動控制

    1路驅動,1路電容傳感

    標稱行程范圍(0~120V)

    76μm

    行程范圍(0~150V)

    95μm

    傳感器

    CAP/-

    分辨率

    3nm

    閉環線性度

    0.02%F.S./-

    閉環重復定位精度

    0.005%F.S./-

    俯仰

    <5μrad

    偏航

    <5μrad

    滾動

    <5μrad

    空載諧振頻率

    615Hz

    帶載諧振頻率@5kg

    310Hz

    閉環階躍時間@5kg

    8ms@20μm

    承載能力

    正立10kg

    臥式5kg

    倒置10kg

    靜電容量

    37μF

    材質

    鋁合金

    重量(含線)

    5.7kg

     







    配套控制器


    E53.D1C-H系列壓電控制器是一款模擬與數字式控制器,具有閉環伺服控制功能,是專為驅動配備電容式傳感器的壓電產品而研發設計。外形尺寸為148×125×27.5mm,供電為24VDC/1.5A。機身帶有散熱區域,可快速導出產生的熱量,且體積小巧,易于集成。
    圖片
    XD605.X90C電容式壓電平臺與E53.D1C-H電容閉環壓電控制器

    更多詳情歡迎致電芯明天!

     

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