蔡司場發射掃描電鏡的日常維護

蔡司場發射掃描電鏡的日常維護

　　蔡司掃描電鏡是價格昂貴、精密復雜的大型儀器，因此,不但要求實驗室管理員能夠規范的操作儀器，更需要管理員能對其進行精細的日常維護[12-15],以確保機器處于正常的工作狀態。以下介紹了ZEISS Sigma 500熱場發射掃描電鏡的日常維護情況。

　　1電鏡室維護

　　做好日常清潔工作,保持電鏡室整潔、無塵;利用空調和除濕機等外部手段調控室內溫度和濕度環境,使室內溫度處于20士5C之間,濕度保持在60%以下,以防掃描電鏡各部件損壞。定時檢查氮氣瓶氣量開關是否打開,保證出口壓力指針處于0.3~0.4MPa之間。

　　2真空系統維護

　　掃描電子顯微鏡屬于高真空系統的儀器。場發射掃描電鏡需長期保持開機狀態以確保電鏡具有優良的真空值:電鏡的系統真空( System vacu-um)-般要求在10~'mbar以上,電子槍真空(Gunvacuum)- .般要求在10-9 mbar以上。如果發生停電或維修等特殊情況,來電后應盡快開機，穩定后檢查系統真空和電子槍真空是否在工作范圍內。

　　若停電時間過長造成真空度下降過多，則需進行烘烤操作(- -般需要烘10h,晾4h)。

　　3配件維護

　　定時檢查機械泵的油液面是否在安全線以上。若油液面在安全線以下或泵油顏色變深,則應立即添加或更換泵油;每半年更換一次密封圈，防止因密封圈老化影響抽真空的效果。

　　定期清洗樣品臺、送樣桿以及離子濺射儀樣品室等易受污染的部件，以防受到灰塵等雜質的污染而影響真空效果。清洗時可使用防靜電無塵布蘸取酒精進行擦拭。

　　定期檢查水冷機循環水,一般每學期換一次循環水。若發現水位低于警戒線,應立刻添加去離子水;若發現循環水混濁變質應立刻更換，防止因循環系統堵塞和結垢造成水循環系統工作效率降低。

　　更換時需先關機,清洗水箱后再加去離子水,并倒人半瓶抑菌劑,以防藻類和細菌生長。