半導體晶圓溫度檢測監測 光刻晶圓溫度測量系統

半導體晶圓溫度檢測監測 光刻晶圓溫度測量系統

     TC Wafer半導體晶圓溫度傳感器利用熱電效應來測量溫度。其基本原理是在晶圓表面埋入微小的熱電偶元件，當晶圓表面溫度發生變化時，熱電偶產生微弱的電壓信號。通過測量這些電壓信號，可以準確地計算出晶圓的溫度變化。

晶圓熱電偶溫度傳感器通過探針與晶片之間的熱電偶效應來測量溫度。熱電偶是一種基于熱電效應的傳感器，它可以將溫度轉化為電壓信號。當探針與晶片接觸時，熱電偶會產生一個電壓信號，該信號被控制器接收并轉換成數字信號。然后，數字信號被發送到顯示屏上進行顯示。

在半導體工藝中，TC Wafer半導體晶圓溫度檢測監測可用于多種應用場景，包括光刻、刻蝕、薄膜沉積等。其能夠實現精確的溫度控制，從而提高工藝的穩定性和準確性，提高產品的質量和性能。此外，其還可以用于廢料處理和設備維護等，提高生產效率和成本效益

智測電子擁有全套傳感器生產、加工與檢測設備，擁有高精度溫度傳感器的生產、研發和產品定制能力，為半導體裝備、航空航天、智能制造、高校實驗室、***所、生物技術等行業用戶提供專業的高精度測溫解決方案。

產品特點

半導體制造廠 Fab，PVD/CVD 部門、RTP 部門等使用。

傳感器可以定制。

高精度多通道數據采集儀。

優異的軟件功能，方便數據統計、趨勢繪圖和數據導出。

產品優勢

高精度：由于其直接嵌入在晶圓表面，可以實現對晶圓溫度的實時、精確監測。

可靠性：傳感器材料穩定，適應長期運行，不易受到外界干擾。

高靈敏度：微小的溫度變化也能被傳感器準確地捕捉，確保制程的穩定性。

即時性：傳感器的實時性能使得生產線上的溫度調整能夠迅速響應，減少生產過程中的溫度波動。

半導體晶圓溫度檢測監測 光刻晶圓溫度測量系統