國產激光干涉儀有哪些功能？

來源：深圳市中圖儀器股份有限公司 2023年09月07日 16:44

　　國產激光干涉儀是一種精密測量儀器，利用激光干涉原理進行測量和分析。通過將激光束分為兩路，并通過反射、干涉和檢測等過程，實現對物體表面形貌、位移、震動等參數的測量。其基本原理為干涉光束之間的相位差變化與待測參數相關聯，通過對干涉光的分析和處理，可以獲得高精度的測量結果。

　　功能：

　　高精度測量：具備高精度測量能力，可以實現亞微米級別的位移和形貌測量。這對于一些需要高精度測量的領域，如微細加工、納米技術研究等具有重要意義。

　　實時監測：可以實現實時監測和反饋控制，能夠對待測物體的變化進行快速準確的檢測，并及時調整參數或處理方式。這對于工程和制造業中的在線監控和質量控制至關重要。

　　非接觸性測量：國產激光干涉儀采用非接觸性測量方式，可以避免傳統測量方法可能引起的表面損傷或污染問題。這對于對待測物體要求較高的場景，如光學元件、精密機械零件等具有特別的優勢。

　　表面形貌測量：可以通過測量物體表面的干涉圖案來獲取其形貌信息。它可以實現對平面、曲面和復雜結構等不同形狀的物體進行精確的形貌測量。

　　位移測量：可用于測量物體的微小位移，例如材料的膨脹、振動和微動等。它可以實時監測物體的位置變化，并提供高精度的位移測量結果。

　　薄膜厚度分析：可以應用于薄膜的厚度和折射率分析。通過測量干涉圖案的變化，可以準確計算薄膜的厚度和其它光學參數，對材料的質量和性能進行評估。

　　振動分析：可以檢測物體表面的微小振動。它可以用于機械結構的模態分析、振動模式的測量和噪聲分析等領域，為工程振動問題的研究和分析提供有力工具。

　　光學元件檢測：可應用于光學元件的加工和檢測中。它可以實時監測光學表面的形貌誤差、表面質量和光學性能，為光學元件的制造和質量控制提供有效支持。

　　總的來說，國產激光干涉儀具備高精度測量、實時監測和非接觸性測量等功能，廣泛應用于科學研究、工程應用和制造業等領域，為相關行業提供了重要的測量和分析手段。

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