新品推薦|XD106.XYZ60K超低溫真空無磁壓電掃描臺

來源：哈爾濱芯明天科技有限公司 2023年08月16日 14:20

隨著科學技術的深入研究，在低溫真空強磁的環境下提供納米級精密定位的應用在物理學、化學和材料學等領域應用越來越多，而低溫真空無磁壓電運動平臺是一種高精度精密定位設備，主要特點是高精度、高穩定性和高可靠性，可在低溫、真空及磁場等情況下提供精密定位，在半導體加工、檢測等方面廣泛應用。

XD106.XYZ60K

由芯明天研發生產的XD106.XYZ60K壓電掃描臺是一款三維運動壓電平臺，它是專為超低溫、真空及無磁環境應用而設計，可進行XYZ三維掃描運動，采用低溫壓電驅動，耐低溫可達4K，它的體積小巧，尺寸僅39mm×39mm×35mm，中心通孔φ10mm，非常易于集成，外殼采用輕型耐低溫、無磁材料，采用低溫雙絞線，以適應低溫環境下的使用。

產品特點

· 低溫真空無磁，耐低溫可達4K

· XYZ三維運動

· 4K溫度下位移達30μm/軸

· 分辨率可達2nm

· 開環運動控制

· 響應速度快

產品應用

· 半導體加工

· 半導體檢測

· 高精密測試和操作

· 其他真空無磁要求的納米運動控制等

技術參數

型號	XD106.XYZ60K
運動自由度	X、Y、Z
驅動電壓	0~60V@常溫 0~150V@低溫4K
標稱行程范圍（常溫）	70μm/軸 @0~60V，常溫
標稱行程范圍（低溫）	30μm/軸 @0~150V，4K溫度
中心通孔直徑	10mm
分辨率	2nm
空載諧振頻率	X415/Y465/Z497Hz
帶載200g諧振頻率	XY105/Z229Hz
靜電容量	XY5.4μF，Z10.9μF
材質	鈦
承載能力	200g
重量	220g
使用方向	倒置使用

推薦控制器

芯明天設計生產多款壓電控制器，如模塊化、小體積型、大功率、工業式、集成式等。可根據不同應用場景選擇合適的壓電控制器。

E00/E01系列壓電控制器

E00/E01系列壓電控制器是模塊化式壓電控制器，模塊化，可自由選擇伺服模塊、上位機通信模塊。驅動XD106.XYZ60K三維壓電掃描臺，選用E01.A3或E01.C3都可，后者增加了上位機通信功能。

E70.C3系列壓電控制器

E70系列壓電控制器是一款集成式壓電控制器，它的外形尺寸緊湊很多，具有三個輸出通道，可進行上位機通信控制和模擬控制，非常適于驅動XD106.XYZ60K三維壓電掃描臺。

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