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    共聚焦顯微鏡能做什么

    來源:深圳市中圖儀器股份有限公司   2023年02月08日 17:14  

    共聚焦顯微鏡主要采用3D捕獲的成像技術,它通過數碼相機針孔的高強度激光來實現數字成像,具有很強的縱向深度的分辨能力。


    共聚焦顯微鏡成像原理

    共焦顯微鏡裝置是在被測對象焦平面的共軛面上放置兩個小孔,其中一個放在光源前面,另一個放在探測器前面,如圖所示。


    圖片1.png

    共焦顯微鏡光路示意圖


    得到的圖像是來自一個焦平面的光通過針孔數碼相機聚焦拍攝,通過所累積的不同焦平面的圖像序列,使用軟件編譯完整的 3d 圖像。


    共焦顯微鏡系統所展現的放大圖像細節要高于常規的光學顯微鏡。傳統光學顯微鏡上常配備靈敏度較低的CCD相機來采集圖像,對于低照度的光,如熒光無法探測到,而共聚焦顯微鏡系統使用的探測元件是高靈敏度的光電倍增管,對微弱的熒光信號可以呈現出很高的靈敏度,并且還可以通過縮小激發范圍并使用光學切片來消除背景噪聲。


    在相同物鏡放大的條件下,共焦顯微鏡所展示的圖像形態細節更清晰更微細,橫向分辨率更高。如同為微納檢測的利器,共聚焦顯微鏡卻是與白光干涉儀有著諸多不同,如果用一個字眼來形容,那么白光干涉儀是“文”,而共聚焦顯微鏡是“武”。白光擅長亞納米級超光滑表面的檢測,追求檢測數值的精準;而共聚焦擅長微納級粗糙輪廓的檢測,雖在檢測分辨率上略遜,但能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。


    VT6000系列共聚焦顯微鏡以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,能測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數,能對各種產品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。


    圖片2.png



    自設計之初,便定下了“簡單好用”四字方針的目標。

    1)結構簡單:儀器整體由一臺輕量化的設備主機和電腦構成,控制單元集成在設備主機之內,亦可采用筆記本電腦驅動,真正實現了“拎著走”的便攜式設計;

    2)真彩圖像:配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像,對細節的展現纖毫畢現;


    3)操作便捷:采用全電動化設計,并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換,圖像視窗和分析視窗同界面的設計風格,實現了所見即所得的快速檢測效果;

    4)安全無憂:采用自研的電動鼻輪塔臺,并對軟件防撞設置與硬件傳感器防撞設置功能進行了優化,確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時也能應對。


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