XD731系列真空三維壓電納米定位臺

來源：哈爾濱芯明天科技有限公司 2023年02月01日 18:48

通常情況下，壓電納米定位臺被設計用于室溫環境。但仍有很多用戶需要真空環境下使用壓電納米定位臺。例如，當研究需要基于真空條件時，就需要構建一個相應的真空實驗環境，相應精密定位用的壓電納米定位臺就需要工作在真空環境下。既要保證壓電納米定位臺在真空環境下正常工作，同時壓電納米定位臺要保證不會因自身磨損、漏氣或產生過多熱量，從而避免對真空環境的真空度造成不利影響，如改變真空度等。

根據真空度，真空環境至少可分為真空和超高真空，真空度達到10^-6mbar，即為中等真空環境，而真空度達到10^-9mbar，即可稱為超高真空。

XD731系列壓電納米定位臺是專為真空應用環境而設計，它的真空兼容度可達10^-7mbar。它可同時在X、Y、Z三個方向進行納米級位置調整，具有優秀的靈活性。

特點

•三維XYZ運動

•真空兼容

•外形緊湊

•可選配閉環傳感器

典型應用

•真空環境三維快速掃描

•納米定位

•生物技術

•量子測量

控制電壓與位移曲線

XD731系列真空三維壓電納米定位臺可選配閉環傳感器，經過實測，在閉環條件下，驅動控制電壓與實際位移間的曲線如下圖所示。

諧振頻率

經過實測，XD731系列閉環真空壓電納米定位臺的空載諧振頻率大于400Hz，加載250g負載情況下的諧振頻率大于150Hz。

定制設計真空版本

芯明天公司接受各類真空版本壓電產品的定制。

根據用戶提供的真空參數需求及真空條件，芯明天基于柔性撓曲機械設計一維或多維的壓電納米定位臺，在設計過程，既保證參數的達標，并著重考慮真空條件下的材料選擇，不對真空環境產生不利影響，并使每個運動軸的運動控制精度達到最佳狀態。

而真空實驗環境的空間通常會受限，芯明天不僅在參數、材料上*優化，并在外觀、尺寸等方面進行*優化。

真空法蘭

為保證真空度及更好的工作狀態，真空環境中壓電納米定位臺與真空腔外的壓電控制器間需通過真空法蘭進行連接。芯明天公司可為用戶配備各種規格尺寸的真空法蘭，為用戶在真空環境下的定位系統安裝提供便利。

XD731系列技術參數

型號	XD731.XYZ100S XD731.XYZ100K	單位
運動自由度	X、Y、Z
驅動行程	4路驅動
標稱行程（0~120V）	80/軸	μm
行程范圍（0~150V）	100/軸	μm
傳感器類型	SGS/-
閉/開環分辨率	3/1	nm
閉環線性度	0.07/-	%F.S.
閉環重復定位精度	0.03/-	%F.S.
俯仰/偏航/滾動	≤35	μrad
推/拉力	50/15	N
運動方向剛度	1.5/1.5/0.9	N/μm
空載諧振頻率	400	Hz
帶載250g諧振頻率	150	Hz
空載階躍時間	20	ms
加載250g負載階躍時間	30	ms
承載能力	0.5	kg
靜電容量	7.2/軸	μF
臺體材質	鋼、鋁
臺體質量	680	g
使用環境真空度	10E-7	mbar

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