MEMS氣體流量計技術發展的特點和現狀

隨著MEMS氣體流量計技術的發展，采用該技術的微機械傳感器研發事業正在壯大。但人們往往會有一種想法，即只要采用了MEMS的制造技術，*可以把傳統的傳感器做成小型的器件。除MEMS制造技術外，*可以沿用傳統的傳感器相關技術。事實上由于MEMS技術引入，傳感器的相應設計規則也發生了變化。這其中包括：微機械應力的獲取規則、微小電容檢測的規則、溫度漂移的引入規則、微機械位移和固有頻率的關系、噪聲作用的順序、zui終噪聲底線等。同時，在MEMS執行器方面，也出現了諸如靜電驅動深寬比法則、驅動穩定性條件、空氣和稀薄氣體的阻尼、靜電吸合法則、微機械熱平衡與傳輸規律、表面張力和毛細管作用規律、非線性振動規律等十分重要的問題。這些問題在宏觀機械領域不起很大作用，因而沒有受到很大重視。需要在研發MEMS傳感器技術的同時逐步加以解決。 就在MEMS技術還處于不很完善的情況下，人們已經迫切希望和需要MEMS傳感器走向實用化和產業化。其原因和動力如下： a. 人們認為MEMS技術是微電子集成模式的延續和發展，理應盡快實現產業化； b. MEMS傳感器除可以實現傳統產品更新換代之外，還可以依據自身的優勢開拓嶄新的應用市場，應用前景廣闊。 c. 在Bio-MEMS、RF-MEMS等技術相繼出現后，人們期待MEMS技術成為一種在從工業化到信息化乃至生物時代跨越發展中具有普適性的技術。而當人們紛紛展開MEMS產品技術的研究時，往往發現器件指標總是與應用需求有一些差距，我們稱之為臨界點突破前的困惑。仔細分析原因，有如下的一些因素： 1. MEMS選擇了微電子集成制造的*模式，也同時選擇了它在三維機械加工方面的先天不足。人們也借鑒其它學科的一些三維加工技術并運用到MEMS中來。如采用電鍍、粉末冶金、電火花技術等。這些技術很多與硅基的微電子集成模式又沒有很好的兼容性。 2. 在產品市場開發中，MEMS產品取代傳統產品遇到很多困惑。人們往往關注MEMS產品能否比傳統產品具有更高的技術指標，而忽略了MEMS技術帶來的其它優勢和特點。 3. 很多正在開發的MEMS產品在性能上似乎總是接近但有不容易*達到應用對指標的要求。相差不是很遠但zui后一段路往往十分漫長。 所以，從目前來看，在MEMS技術體系框架內實現關鍵技術突破，盡快使MEMS傳感器能夠達到應用的要求，這一點對MEMS技術實用化進程的成功十分重要。

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