激光干涉儀測(cè)量機(jī)床精度之線性測(cè)量

數(shù)控機(jī)床因?yàn)楦呔取⒏咝省⒍喙δ艿葍?yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于各行業(yè)中。為了保證機(jī)床的加工精度，需要用到激光干涉儀對(duì)它們做定期精度檢查，這樣才能保證加工產(chǎn)品的質(zhì)量。

線性測(cè)量是激光干涉儀用來檢定機(jī)床定位精度的一種常見測(cè)量。

線性測(cè)量構(gòu)建

進(jìn)行線性測(cè)量需使用到“線性干涉鏡”（由分光鏡和角錐反射鏡A組 成）和“線性反射鏡”（角錐反射鏡B）。激光從SJ6000激光干涉儀主機(jī)（激光頭）出射，通過分光 鏡后將分成兩束激光，一束激光為通過角錐反射鏡A的參考光，另一束激光為通過角錐反 射鏡B的測(cè)量光，通過移動(dòng)“線性反射鏡”可實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)軸的線性測(cè)量。

線性測(cè)量原理構(gòu)建圖

SJ6000激光干涉儀采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可以輸出高精度、抗擾力強(qiáng)、高穩(wěn)定性的激光頻率。其線性測(cè)量可滿足(0?80)m范圍內(nèi)的精密測(cè)量，主要應(yīng)用于測(cè)量直線導(dǎo)軌的定位精度、重復(fù) 定位精度和反向間隙等。

數(shù)控機(jī)床的線性測(cè)量

數(shù)控機(jī)床傾斜軸的線性測(cè)量

線性測(cè)量步驟：

1、設(shè)置激光器系統(tǒng)以執(zhí)行線性測(cè)量；

2、使激光束與機(jī)床的運(yùn)動(dòng)軸準(zhǔn)直；

3、啟動(dòng)自動(dòng)環(huán)境補(bǔ)償功能，確保在軟件中輸入正確的材料膨脹系數(shù)；

4、測(cè)量和記錄機(jī)床的線性誤差；

5、分析數(shù)據(jù)。

注意事項(xiàng)

1、線性測(cè)量過程尤其是在測(cè)量與激光頭成直角的水平軸和垂直軸、斜軸的時(shí)候，光路調(diào)節(jié)困難，這時(shí)候就需要巧妙安裝反射鏡和折射鏡。

2、使用光靶能簡(jiǎn)單準(zhǔn)直激光束

3、在開始測(cè)量時(shí)，或者在返程測(cè)量時(shí)激光干涉儀不踩點(diǎn)，可能原因有：

（1）光強(qiáng)太弱；

（2）當(dāng)返回測(cè)量時(shí)，激光干涉儀不采集數(shù)據(jù)。這時(shí)候要分析“越程”量設(shè)置是否正確，或是機(jī)床在程序運(yùn)行中有沒有考慮“越程”。

4、線性反射鏡箭頭方向就是激光進(jìn)行方向，一定要正確組合線性反射鏡組。

5、反射鏡組的一條邊棱與永磁體座盡量平行或垂直，這將為后面進(jìn)行找正光源做好基礎(chǔ)。

6、激光頭預(yù)熱時(shí)間會(huì)根據(jù)氣溫的變化而變化，所以在測(cè)量數(shù)據(jù)前要保證在激光波長(zhǎng)穩(wěn)定后進(jìn)行。

7、測(cè)試工作完成后，應(yīng)先將激光頭電源關(guān)掉，關(guān)閉電腦。