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    芯明天壓電偏擺臺的優勢與選型

    來源:哈爾濱芯明天科技有限公司   2022年08月31日 13:34  

    芯明天軟件控制壓電控制器是指通過上位機軟件控制,具有功率放大功能,且輸出電壓、輸出頻率可調,具有操作方便、數據精準、軟件支持二次開發等優點。用于驅動控制壓電納米定位產品,如壓電促動器、壓電納米定位臺、壓電物鏡定位器、壓電偏轉鏡、壓電偏擺臺等。

    激光束偏轉及其掃描在半導體加工、軍事探測、航空航天、生物醫學、納米科學研究等領域得到了越來越多的應用,同時對其性能要求也越來越高,受其體積,掃描頻率,掃描精度,掃描分辨率等諸多因素的制約。通過我公司壓電快速偏擺臺可**的解決以上問題。

    基于壓電陶瓷驅動器的快速偏擺臺具有很高的諧振頻率,掃描角度小、分辨率高、線性度好,一般應用于自適應光學、光束跟蹤和穩定等需要快速響應和小角度偏轉的領域。

    壓電偏擺臺具有更快的加速度和更高的帶寬,具有零摩擦和零粘力的鉸鏈導向,并且導向精確性優良,采用傳感器的閉環系統,具有很高的精確度。  

    壓電偏擺臺采用壓電陶瓷驅動器直接驅動,多用于圖象處理/穩定、激光掃描、通信、光線偏轉、光束偏轉/穩定等系統。

    哈爾濱芯明天科技有限公司提供的壓電陶瓷偏擺臺具有體積小、位移分辨率高、頻響高、無噪聲、不發熱等特點。且已經過多家科研院所測試,驗證了壓電偏轉臺分辯率高,重復定位精度高,在要求偏轉角度為mrad量級、分辨率要求μrad量級的激光掃描系統中表現出很好的特性。

    壓電偏擺臺型號選擇請參考下表

    型號

    角度范圍

    分辨率

    S50.U0C/K

    θx

    0.19mrad(≈39秒)

    -

    S50.U0C/K-D1

    θx

    0.5mrad(≈100秒)

    0.01μrad(<0.01秒)

    S50.UR1S/K

    θx、θz

    1.3mrad(≈268秒)/軸

    0.03μrad(<0.01秒)

    S51.ZT1S/K

    θx、θy、Z

    ±1.1mrad(≈±220 秒)/軸

    100μm

    0.05μrad(≈0.01 秒)

    4nm

    S51.ZT1S/K-C1

    θx、θy、Z

    ±1.1mrad(≈±220秒)/軸

    110mrad

    0.05μrad(≈0.01 秒)

    4nm

    S54

    θx、θy

    ±1mrad(≈±200秒)/軸

    0.05μrad(≈0.01秒)

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