擁有一顆藍(lán)寶石的“玻璃心” ——安捷倫精密微調(diào)閥

擁有一顆藍(lán)寶石的“玻璃心”

——安捷倫精密微調(diào)閥

安捷倫精密微調(diào)閥，用于精密控制微小的流量（或泄漏率），以調(diào)節(jié)系統(tǒng)真空度或滿足其它非常特殊的工藝需求。

安捷倫藍(lán)寶石密封精密微調(diào)閥最小可控制 1E-10 mbarl/s (std cc/s, sccs) 的微小流量，可用于壓力低至 1E-11 mbar 的超高真空環(huán)境，并且可以耐受高達(dá) 450℃ 的高溫烘烤。                         

該微調(diào)閥內(nèi)部有一塊具有光學(xué)級(jí)平面的藍(lán)寶石（Sapphire），和一套精密的位置調(diào)整機(jī)構(gòu)。位置調(diào)整機(jī)構(gòu)由一個(gè)精密細(xì)牙螺桿和一個(gè)高倍率杠桿機(jī)構(gòu)組成，該機(jī)構(gòu)的省力倍數(shù)高達(dá)13000:1，可以非常精密的調(diào)整藍(lán)寶石的平面和與其相配合的金屬墊片之間的距離，從而調(diào)整通過他們之間的流量，或者形成*無摩擦、無咬合和無斷裂的密封。

閥門內(nèi)部的藍(lán)寶石和與其相配合的金屬墊片之間緊密貼合之后，閥門就處于關(guān)閉狀態(tài)。已經(jīng)處于關(guān)閉狀態(tài)的閥門不可以再繼續(xù)擰緊，否則會(huì)造成螺紋或者藍(lán)寶石閥頭損壞。為了避免此類現(xiàn)象發(fā)生，閥門在出廠時(shí)已經(jīng)設(shè)置好了停止位置，即兩個(gè)圓螺母（NOBS）已經(jīng)鎖緊在調(diào)整螺桿（FINE DRIVE SCREW）的某一點(diǎn)上，使得閥門在關(guān)閉后無法再繼續(xù)擰緊。使用時(shí)請(qǐng)捏住兩個(gè)螺母一起轉(zhuǎn)動(dòng)（順時(shí)針流量減小，逆時(shí)針流量增大），不要隨意將它們松開或調(diào)整位置。

若閥門使用一段時(shí)間后出現(xiàn)擰到最緊后仍然無法密封，或者想把停止位置設(shè)定為某一個(gè)固定的流量（漏率），可以參考使用說明書，并按照說明書中描述的步驟進(jìn)行調(diào)整。

微調(diào)閥的調(diào)整螺紋為精密細(xì)牙螺紋，大力旋轉(zhuǎn)或者螺紋處潤(rùn)滑不良時(shí)會(huì)造成螺紋損壞，請(qǐng)小心調(diào)整并定期涂抹附送的潤(rùn)滑脂。該潤(rùn)滑脂為可以耐受烘烤的高溫潤(rùn)滑脂，請(qǐng)勿用其它潤(rùn)滑脂替代。

當(dāng)需要對(duì)關(guān)閉狀態(tài)的閥門進(jìn)行烘烤時(shí)，有可能需要重新設(shè)置停止位置（請(qǐng)參見說明書“烘烤程序”一節(jié)）。

當(dāng)微調(diào)閥的流量低于 1E-9 mbarl/s 時(shí)，可凝蒸氣和污染物有可能會(huì)堵塞閥內(nèi)的微小間隙。對(duì)此類應(yīng)用，微調(diào)閥必須在開啟狀態(tài)下真空烘烤至 250° 并保持30分鐘，以去除內(nèi)部吸收的可凝蒸氣。

對(duì)于 4E-10 mbarl/s 以及更低的流量，除上述烘烤外，通過微調(diào)閥的氣體必須不含可凝性蒸氣，或者通過干燥裝置（比如液氮冷阱）對(duì)進(jìn)氣進(jìn)行處理后再接入微調(diào)閥。分子篩捕集阱也可用于干燥氣體，但必須使用過濾器以確保沒有篩子顆粒進(jìn)入微調(diào)閥。

環(huán)境溫度的變化會(huì)引起流量（泄漏率）的變化（溫度升高時(shí)，泄漏率增加），如果泄漏率的變化對(duì)您正在進(jìn)行的實(shí)驗(yàn)來說是不可接受的，就應(yīng)該使用一些溫度控制的手段——將閥門加熱并將其溫度維持在略高于最高室溫的某個(gè)值。

編者：深圳市科銳詩汀科技有限公司真空技術(shù)中心