光的干涉是指從目標對象表面到某點的光距(光路)產生偏差時，所發生的現象。利用這種現象測量目標對象表面凹凸的就是光學干涉儀。右圖是干涉應變計的結構圖。從光源(半導體激光等)發出的光有一些透過分光鏡到達參考面上，其余被反射到樣本表面。透過的光經參考面反射通過光接收元件即CCD元件成像。其余被反射的光經目標對象表面反射透過分光鏡，同樣通過光接收元件即CCD元件成像。
白光干涉儀就是利用光學干涉原理研制開發的表面輪廓測量儀器。照明光束經半反半透分光鏡分威兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。
由于兩束光相互干涉，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據白光干涉條紋明暗度以及干涉條紋出現的位置解析出被測樣品的相對高度。
白光干涉儀的測量使用步驟：
以測量單刻線臺階為倒，在檢查儀器的各線路接頭都準確插到對應插孔后，開啟儀器電源開關，啟動計算機，將單刻線臺階工件放置在載物臺中間位置，先手動調整載物臺大概位置，對準目鏡的下方。
在計算機上打開白光干涉儀測量軟件，在軟件界面上設置好目鏡下行的低點，再微調鏡頭與被測單刻線臺階表面的距離，調整到計算機屏幕上可以看到兩到三條干涉條紋為佳，此時設置好要掃描的距離。按開始按鈕，可自動進行掃描測量，測量完成后，轉件自動生成3D圖像，測量人員可以對3D圖像進行數據分析，獲得被測器件表面線、面粗糙度和輪廓的2D、3D參數。
白光干涉儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優點，測量單個精細器件的過程用時2分鐘以內，確保了高款率檢測，特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。
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