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SJ6000激光干涉儀平行度測(cè)量是在直線度測(cè)量的基礎(chǔ)上而擴(kuò)展的應(yīng)用。
平行度測(cè)量原理
平行度測(cè)量由平行軸的兩組直線度測(cè)量組成，參見下面平行度測(cè)量光路原理構(gòu)件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn)，在測(cè)量過(guò)程中保持原位，且不進(jìn)行調(diào)整。由第1運(yùn)動(dòng)軸的斜度θ1中減去第2運(yùn)動(dòng)軸的斜度θ2，即可得出平行度＝θ1－θ2。
平行度測(cè)量配置
平行度測(cè)量配置主要由SJ6000主機(jī)、短直線度鏡組（或長(zhǎng)直線度鏡組）、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成。Z軸的平行度測(cè)量需增添可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡。
平行度測(cè)量應(yīng)用
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