德國ATL Lasertechnik準分子激光器原理介紹

軟電暈預電離

高壓固態脈沖發生器

激光頭體積<3l

TMC（全金屬陶瓷）容器

集成真空泵和鹵素過濾器

風冷/可選液冷，主動熱管理

RS-485，RS232，USB和光纖接口，用于系統集成

可沖洗光學支架

能量穩定模式

新一代緊湊型風冷，高重復頻率的準分子激光器，專為中低占空比應用而設計。

參數：

氣體介質 F2 ArF KrF XeCl XeF

波長 nm 157 193 248 308 351

高壓開關技術 固態開關

重復率max. Hz 1 10 15 8 7

脈沖能量max. mJ 0.5 4.0 6.5 3.0 2.5

平均功率max. W 500

脈沖持續時間 ns 5-8

光束尺寸（V x H） mm 4 x 6

光束發散角（V x H）mrad 1 x 2

能量穩定性（標準偏差）% < 3

尺寸（長x寬x高）mm 540 x 470 x 370

重量 kg 60

冷卻 冷卻空氣/可選液體

電源要求 230 VAC / 6,3 A / 1相/ 50-60 Hz