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    美國OPTO DIODE位置傳感器ODD-SXUV-DLPSD原理介紹

    來源:天津瑞利光電科技有限公司   2020年09月02日 10:32  

    產品介紹:
    ODD-SXUV-DLPSD,雙側UV / EUV亞微米位置分辨率傳感器。新設備在暴露于紫外線和/或極紫外輻射后可提供高度穩定的響應。它采用TO-8無窗口封裝,可大程度減少暴露于強烈的UV/EUV光子后二極管的響應度變化。ODD-SXUV-DLPSD的有效面積為5 mm x 5 mm,非常適合光刻應用以及需要使用200 nm以下波長的任何定位應用。
    連續位置檢測光電二極管設計用于位置檢測1 nm至400 nm波長的光。在13 nm處的響應度通常為0.20 A/W;254 nm的響應度通常為0.02 A/W。在工作條件下,暗電流為10(典型值)和50(max.)nA。新的ODD-SXUV-DLPSD具有反向擊穿電壓,min.50伏,電容為40(典型值)至60(max.)pF。操作和存儲溫度范圍從-10℃到40℃(環境溫度)和-20℃到80℃(在氮氣或真空條件下)。結溫為max.70℃,引線焊接溫度為0.080英寸,距外殼10秒鐘為260℃。
    參數:
    活動區域:25 mm2
    響應度R@13nm:0.20 A/W
    響應度R@254nm:0.02 A/W
    反向擊穿電壓,VR:min.50 V
    電容,C:40pF(典型),60 pF(max)
    上升時間VR = 30V,RL =50Ω:200 nm
    分流電阻Vr =±10mV :5 MOhms
    電極間電阻:5,000(min),10,000(典型),15,000(max)歐姆
    ID的溫度系數:1.15次/ºC
    位置非線性:±1 %(典型),±2%(max)

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