壓電促動器應用于籠式結構白光干涉

壓電促動器具有納米級分辨率、亞毫秒級響應速度等特點，并且壓電促動器及其控制器的體積小巧，非常易于集成至籠式結構中，進行快速及高精度的光學路徑調整。

籠式結構白光干涉儀的體積小巧，將芯明天7VS12壓電促動器及USB式壓電控制器集成于該設備中，可對白光中含有的各種光波長的干涉做快速掃描。

7VS12 壓電促動器參數：

• 位移：9µm

• 直徑：12mm

• 諧振頻率：40kHz

E63 USB式壓電控制器參數：

• USB供電

• 上位機軟件直觀控制

• 輸出電壓：150V

壓電促動器分開環與閉環兩種版本，其中開環版本適用于動態快速掃描、步進；閉環版本內部配置有位移傳感器，非常適用于靜態或半靜態的位移運動及保持。

對于籠式結構或其他結構的干涉儀應用，可根據光的波長及步進距離選擇壓電促動器的位移等參數。

我們可提供該白光干涉的整套設備，在該設備基礎上，增加部分部件及算法，即可達到干涉測量的目的。