移相步進與鏡片兩軸角度調節相結合的壓電陶瓷移相器

壓電陶瓷移相器的內部是由壓電陶瓷管驅動，它由直流電壓信號來控制，在150V電壓下產生的位移約0.9µm，可用于快速步進移相應用。壓電陶瓷移相器的驅動電壓上限為800V，在此電壓下，產生的位移約4.82µm。

該壓電移相器是專為像移應用而設計，可通過電壓控制進行超快速（µs級）步進調節，同時，可通過手動調節θx θy兩軸的偏轉角度，角度調節范圍可達±4°。將鏡片調節與像移步進相結合，使其更方便于像移、干涉測量等應用。

產品特點

• 150V電壓驅動下，移相行程約0.9µm

• 驅動電壓上限為800V

• 移相行程上限可達4.82µm

• 可手動調節θx θy兩軸偏轉角度

• 單軸調節角度范圍為0~±4°

• 標準可帶載鏡片直徑為35mm，可定制

產品應用

• 快速納米級步進

• 移相

• 光路調節

• 干涉測量

• 快速步進調節等

電壓與位移曲線

芯明天可提供各種用于移相、步進、干涉、計量等應用的壓電式移相器，例如超小體積型、帶有通光孔型、大負載型、大口徑式等，可*根據客戶的實際應用定制設計。